特許
J-GLOBAL ID：200903090412248486

素子配列方法

発明者：
友田 勝寛

友田 勝寛 について

, 
大畑 豊治

大畑 豊治 について

, 
土居 正人

土居 正人 について

, 
渡辺 秋彦

渡辺 秋彦 について

, 
小嶋 健介

小嶋 健介 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-408663
公開番号（公開出願番号）：特開2005-174979
出願日： 2003年12月08日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 複数種類の素子を配列する場合にも確実に素子配列を行い、かつ、短時間で効率良く素子配列を行うことが可能な素子配列方法を提供する。【解決手段】 素子形成基板上に密集して形成された素子を、配列基板上に形成されて配列基板表面を分割するセルに対して選択的に転写し、セル領域内で素子を自己整合によって所定の位置に配置する。セル領域内での自己整合は、セル領域内に導入した液体中で素子を移動させて凹部である素子配置孔に素子を嵌合させる方法や、セル領域内に導入した液体中で素子を浮遊させて液体を蒸発させ表面張力により素子配置孔に素子を嵌合させる方法を用いる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
第一の基板上に配置された素子を第二の基板上に転写して前記第二の基板上に配置する素子配列方法であって、 前記第二の基板表面を分割し前記素子を配置するセルを前記第二の基板上に形成し、 前記第一の基板上に形成された前記素子を剥離して前記セルに転写し、 前記セル領域内の所定位置に前記素子を自己整合で配置することを特徴とする素子配列方法。
IPC (2件)：
H01L33/00 ,  H01S3/00
FI (2件)：
H01L33/00 N ,  H01S3/00 B
Fターム (12件)：
5F041AA37 ,  5F041DA13 ,  5F041DA14 ,  5F041DA19 ,  5F041DA33 ,  5F041DA35 ,  5F041DA82 ,  5F072AA06 ,  5F072AB01 ,  5F072KK01 ,  5F072YY08 ,  5F072YY20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (16件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM