特許
J-GLOBAL ID：200903092765993153

多孔質膜形成用組成物、パターン形成方法、及び多孔質犠性膜

発明者：
岩淵 元亮

岩淵 元亮 について

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濱田 吉隆

濱田 吉隆 について

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荻原 勤

荻原 勤 について

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浅野 健

浅野 健 について

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上田 貴史

上田 貴史 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-172236
公開番号（公開出願番号）：特開2005-350558
出願日： 2004年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【解決手段】 (A)一般式(1) R1n-Si-R24-n (1) (R1は互いに同一又は異種の、1価の有機基又は水素原子である。R2は互いに同一又は異種の、加水分解性基又は水酸基を示す。nは0〜3の整数である。)で示される加水分解性シラン、その加水分解物及びその部分縮合物からなる群より選ばれる1種以上の珪素化合物(但し、R1として有機架橋性基を有する珪素化合物を少なくとも1種含む)を加水分解及び縮合させて得られる、上記有機架橋性基による架橋反応可能な重合体、(B)有機溶剤を含有してなることを特徴とする多孔質膜形成用組成物。【効果】 本発明の組成物によれば、保存安定性、フィリング特性、密着性、塗膜の均一性に優れ、またストリップ液に対する溶解性の高い犠牲膜を得ることができる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1) R1n-Si-R24-n (1)
IPC (7件)：
C09D183/02 ,  C08K5/00 ,  C08L83/04 ,  C09D183/04 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (7件)：
C09D183/02 ,  C08K5/00 ,  C08L83/04 ,  C09D183/04 ,  G03F7/11 503 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/30 574
Fターム (103件)：
2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025DA34 ,  2H025DA40 ,  2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096CA05 ,  2H096CA06 ,  2H096EA05 ,  2H096HA17 ,  2H096HA23 ,  2H096HA30 ,  4J002CP031 ,  4J002ED026 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J038DL021 ,  4J038DL031 ,  4J038JB01 ,  4J038KA04 ,  4J038KA06 ,  4J038NA26 ,  4J246AA03 ,  4J246AA19 ,  4J246AB15 ,  4J246BA070 ,  4J246BA16X ,  4J246BA26X ,  4J246BB020 ,  4J246BB021 ,  4J246BB022 ,  4J246CA14X ,  4J246CA140 ,  4J246CA149 ,  4J246CA250 ,  4J246CA259 ,  4J246CA340 ,  4J246CA349 ,  4J246CA390 ,  4J246CA399 ,  4J246CA400 ,  4J246CA409 ,  4J246CA450 ,  4J246CA459 ,  4J246CA470 ,  4J246CA479 ,  4J246CA530 ,  4J246CA539 ,  4J246CA560 ,  4J246CA569 ,  4J246CA64X ,  4J246CA640 ,  4J246CA649 ,  4J246CA650 ,  4J246CA659 ,  4J246CA660 ,  4J246CA669 ,  4J246CA67X ,  4J246CA670 ,  4J246CA679 ,  4J246CA68X ,  4J246CA680 ,  4J246CA689 ,  4J246CA69X ,  4J246CA690 ,  4J246CA699 ,  4J246CA760 ,  4J246CA769 ,  4J246CA780 ,  4J246CA789 ,  4J246CA800 ,  4J246CA809 ,  4J246CA830 ,  4J246CA839 ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FA421 ,  4J246FA441 ,  4J246FA621 ,  4J246FB221 ,  4J246FB271 ,  4J246FE03 ,  4J246FE32 ,  4J246FE34 ,  4J246GB04 ,  4J246GB18 ,  4J246GC24 ,  4J246GD08 ,  4J246HA15 ,  5F046PA07 ,  5F046PA19 ,  5F058AA06 ,  5F058AA10 ,  5F058AC03 ,  5F058AD05 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH10
引用特許：
出願人引用 (15件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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