特許
J-GLOBAL ID：200903098685373225

固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器

発明者：
石辺 祥一

石辺 祥一 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-074998
公開番号（公開出願番号）：特開2008-235689
出願日： 2007年03月22日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】光導波路による良好な集光・光伝播効果を得ると共に、従来のような画質特性の劣化を来たさない。【解決手段】表面に受光部2が設けられた半導体基板1上に、ゲート絶縁膜3や層間絶縁膜6などの絶縁膜を介してゲート電極膜4や配線層7などの複数層の導電膜が設けられ、半導体基板と導電膜の間、および複数層の導電膜の間が、絶縁膜のコンタクトオール部において、導電性材料からなるコンタクトプラグ5により接続されている。さらに、これら複数層の導電膜とコンタクトプラグが、光導波路管12a〜12fとして、受光部上方に対応する位置に設けられて、光導波路領域としての機能を兼ね備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面部に複数の受光部が2次元状に設けられた半導体基板上であって、該受光部の上方を除く領域に、絶縁膜をそれぞれ介して複数層の導電膜がそれぞれ設けられると共に、該受光部の上方領域に光導波路が形成されている固体撮像素子において、 該光導波路として、該複数層の導電膜のうちの少なくともいずれかの導電膜と同一の材料により複数層の光導波路管が構成されている固体撮像素子。
IPC (2件)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (2件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 U
Fターム (20件)：
4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118GA09 ,  4M118GB15 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD11 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CX03 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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