特許
J-GLOBAL ID：201003041236654804
基板載置台およびそれを用いた基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-236951
公開番号（公開出願番号）：特開2010-073753
出願日： 2008年09月16日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：
【課題】昇降ピンごとに位置調整を行って挿通孔と昇降ピンとの位置合わせを正確に行うことができ、昇降ピンと挿通孔内面のこすれ等によるパーティクルの発生を抑制することができる基板載置台を提供すること。【解決手段】基板載置台は、載置台本体と、載置台本体に対して基板を昇降する基板昇降機構とを有する。基板昇降機構は、挿通孔に挿通された昇降ピン52と、昇降ピン52を支持する昇降アーム59と、昇降アーム59を介して昇降ピンを昇降させるアクチュエータと、昇降ピン52を昇降アーム59に取り付ける昇降ピン取り付け部60とを有し、昇降ピン取り付け部60は、昇降アーム59に設けられた凹所と、昇降ピン52がねじ止めされ、昇降アーム59の上面と面接触する底面と底面から下方へ突出して凹所に遊嵌される突出部とを有するベース部材63と、ベース部材63をクランプするクランプ部材64とを有する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
処理容器内で被処理基板に対して処理を行うための基板処理装置において、前記処理容器内で被処理基板を載置する基板載置台であって、
載置台本体と、
前記載置台本体に対して基板を昇降する基板昇降機構と
を具備し、
前記基板昇降機構は、
前記載置台本体に設けられた複数の挿通孔にそれぞれ挿通され、その先端で基板を支持して基板を昇降させる複数の昇降ピンと、
前記昇降ピンを支持する昇降アームと、
昇降アームを介して昇降ピンを昇降させるアクチュエータと、
前記昇降ピンを前記昇降アームに取り付ける昇降ピン取り付け部とを有し、
前記昇降ピン取り付け部は、
前記昇降アームの上面の前記昇降ピンに対応する位置に設けられた凹所と、
前記昇降ピンがねじ止めされ、前記昇降アームの上面と面接触する底面を有し、かつその底面から下方へ突出して前記凹所に遊嵌される突出部を有するベース部材と、
前記ベース部材をクランプして前記昇降ピンを固定するクランプ部材とを有することを特徴とする基板載置台。
IPC (6件)：
H01L 21/683
, H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/306
, C23C 16/458
, C23C 14/50
H01L21/68 N
, H01L21/02 Z
, H01L21/205
, H01L21/302 101G
, C23C16/458
, C23C14/50 K
4K029JA01
, 4K029KA01
, 4K030FA03
, 4K030GA02
, 4K030GA04
, 4K030GA12
, 4K030KA46
, 5F004BB14
, 5F004BB18
, 5F004BB29
, 5F004BC06
, 5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA33
, 5F031HA37
, 5F031KA20
, 5F031LA15
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA32
, 5F031PA26
, 5F045AA09
, 5F045DP03
, 5F045EM09
, 5F045EM10
