特許
J-GLOBAL ID：201003067381293282

抵抗率検査方法及びその装置

発明者：
坂井 智嗣

坂井 智嗣 について

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▲高▼野 暁巳

▲高▼野 暁巳 について

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小林 靖之

小林 靖之 について

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山口 賢剛

山口 賢剛 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (2件)： 藤田 考晴 ,  上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-207062
公開番号（公開出願番号）：特開2010-043904
出願日： 2008年08月11日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：
【課題】非破壊、非接触で効率的にかつ高精度で透明導電膜の抵抗率を計測すること。【解決手段】事前に行われた検査条件選定方法により選定された波長を有するP偏光の照明光を該方法により選定された入射角で、製造ラインを搬送される透光性基板上に製膜された透明導電膜に膜面側から照射する光照射装置3と、透明導電膜において反射された反射光を検出する光検出装置2と、検出した光の強度に基づいて該波長についての反射光の光量に係る評価値を算出し、評価値と抵抗率とが予め関連付けられている相関特性を用いて、算出した評価値から抵抗率を求める情報処理装置7とを具備する抵抗率検査装置を提供する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
透明導電膜の抵抗率検査に用いられる照明光の波長及び入射角を選定する検査条件選定方法であって、 膜厚及び抵抗率の組み合わせが異なる複数の透明導電膜に対して、波長及び入射角からなる検査条件をそれぞれ異ならせたP偏光の照明光を照射し、その反射光の光量に係る評価値をそれぞれ測定し、 前記透明導電膜の膜厚並びに抵抗率の組み合わせを含むサンプル条件、前記検査条件、及び前記評価値を関連付けた相関関係を求め、 前記相関関係において、前記透明導電膜の膜厚の違いによる前記評価値の誤差が許容範囲内にあり、かつ、前記抵抗率の変化に対する前記評価値の変化が所定値以上である前記検査条件を選定する検査条件選定方法。
IPC (4件)：
G01N 21/35 ,  H01L 31/04 ,  G01N 21/21 ,  G01R 27/02
FI (4件)：
G01N21/35 Z ,  H01L31/04 M ,  G01N21/21 Z ,  G01R27/02 R
Fターム (57件)：
2G028BC02 ,  2G028CG02 ,  2G028DH17 ,  2G028GL04 ,  2G028JP03 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB20 ,  2G059CC20 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE11 ,  2G059GG02 ,  2G059GG04 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM12 ,  5F051AA04 ,  5F051AA05 ,  5F051BA11 ,  5F051CA02 ,  5F051CA03 ,  5F051CA04 ,  5F051CA15 ,  5F051CB12 ,  5F051DA04 ,  5F051DA18 ,  5F051EA09 ,  5F051EA16 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051FA13 ,  5F051FA15 ,  5F051GA03 ,  5F051KA10 ,  5F151AA04 ,  5F151AA05 ,  5F151BA11 ,  5F151CA02 ,  5F151CA03 ,  5F151CA04 ,  5F151CA15 ,  5F151CB12 ,  5F151DA04 ,  5F151DA18 ,  5F151EA09 ,  5F151EA16 ,  5F151FA02 ,  5F151FA06 ,  5F151FA13 ,  5F151FA15 ,  5F151GA03 ,  5F151KA10
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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