流量センサーおよび流量検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山田文雄 , 山田洋資
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-077699
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209130
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】液体と気体のどちらにも使用することができ、小型化に適し、電子回路基板などに表面実装することが可能であり、信頼性が高い流量センサーを提供する。【解決手段】表面実装型のパッケージ12に流量検出手段を内蔵した流量センサー10であって、パッケージ12内に形成され、流体をパッケージ12の下面に設けた流入口30から流量検出手段を通してパッケージ12の下面に設けた流出口32に導く流体流路70と、パッケージ12の外面に設けられ流量検出手段の電気出力が導かれる外部端子40と、を備える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

表面実装型のパッケージに流量検出手段を内蔵した流量センサーであって、前記パッケージ内に形成され、流体を前記パッケージの下面に設けた流入口から前記流量検出手段を通して前記パッケージの下面に設けた流出口に導く流体流路と、前記パッケージの外面に設けられ前記流量検出手段の電気出力が導かれる外部端子と、を備えることを特徴とする流量センサー。

IPC (6件)：

G01F 1/00 , G01F 1/42 , H01L 29/84 , H01L 23/02 , B81B 3/00 , G01F 15/14

FI (6件)：

G01F1/00 S , G01F1/42 A , H01L29/84 B , H01L23/02 G , B81B3/00 , G01F15/14

Fターム (34件)：

2F030CA04 , 2F030CE13 , 2F030CF09 , 3C081BA22 , 3C081BA30 , 3C081BA33 , 3C081BA45 , 3C081EA01 , 3C081EA03 , 4M112AA01 , 4M112AA10 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA09 , 4M112CA10 , 4M112CA11 , 4M112CA12 , 4M112CA13 , 4M112CA14 , 4M112CA15 , 4M112DA03 , 4M112DA15 , 4M112DA18 , 4M112EA01 , 4M112EA03 , 4M112EA07 , 4M112EA11 , 4M112EA15 , 4M112FA01 , 4M112FA20 , 4M112GA01 , 4M112GA03

引用特許：

審査官引用 (11件)

流量センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-087695 出願人：カシオ計算機株式会社
超小型電子流量センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-557754 出願人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-049397 出願人：株式会社山武

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