特許
J-GLOBAL ID:201203044045394199
異種材料接合型ダイオード及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-278044
公開番号(公開出願番号):特開2012-129299
出願日: 2010年12月14日
公開日(公表日): 2012年07月05日
要約:
【課題】電流電圧特性を維持しつつ、アノード電極6の剥離に対する機械的強度を向上させる。【解決手段】異種材料接合型ダイオードは、半導体基体1と、半導体基体1の上に形成された第1導電型のドリフト領域2と、ドリフト領域2の主表面に接合された、ドリフト領域2とは異なる種類の材料からなるアノード電極6と、半導体基体1に接続されたカソード電極7とを備える。ドリフト領域2とアノード電極6との接合によりダイオードが形成されている。アノード電極6の主表面のうち、ドリフト領域2に接している側の主表面に、嵌合構造(3、G1)が形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体基体と、
前記半導体基体の上に形成された第1導電型のドリフト領域と、
前記ドリフト領域の主表面に接合された、前記ドリフト領域とは異なる種類の材料からなるアノード電極と、
前記半導体基体に接続されたカソード電極とを備え、
前記ドリフト領域と前記アノード電極との接合によりダイオードが形成され、
前記アノード電極の主表面のうち、前記ドリフト領域に接している側の主表面に、嵌合構造が形成されている
ことを特徴とする異種材料接合型ダイオード。
IPC (6件):
H01L 29/872
, H01L 29/47
, H01L 29/41
, H01L 29/868
, H01L 29/861
, H01L 21/329
FI (8件):
H01L29/48 F
, H01L29/44 S
, H01L29/91 K
, H01L29/91 D
, H01L29/91 B
, H01L29/91 H
, H01L29/91 F
, H01L29/48 D
Fターム (25件):
4M104AA03
, 4M104BB01
, 4M104BB05
, 4M104BB14
, 4M104BB16
, 4M104BB21
, 4M104CC01
, 4M104CC03
, 4M104CC05
, 4M104DD34
, 4M104DD37
, 4M104DD63
, 4M104DD78
, 4M104DD84
, 4M104EE02
, 4M104EE11
, 4M104FF02
, 4M104FF07
, 4M104FF27
, 4M104FF31
, 4M104FF32
, 4M104FF35
, 4M104GG02
, 4M104GG03
, 4M104HH08
引用特許:
審査官引用 (15件)
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半導体装置およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-161042
出願人:三菱電機株式会社
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JBSの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-242528
出願人:日本インター株式会社
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特開平4-321274
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-050998
出願人:日産自動車株式会社
-
半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-367377
出願人:新電元工業株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-217640
出願人:株式会社東芝
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-051048
出願人:日産自動車株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-021488
出願人:株式会社東芝
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MOSトレンチを有するショットキー障壁整流装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平7-504063
出願人:ノースカロライナステートユニバーシティ
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炭化珪素半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-095693
出願人:三菱電機株式会社
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炭化珪素ショットキーダイオードおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-288500
出願人:日産自動車株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-123332
出願人:日産自動車株式会社
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特開平3-292746
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-032596
出願人:日産自動車株式会社
-
半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-283786
出願人:松下電子工業株式会社
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