特許
J-GLOBAL ID：201303089522508810
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-234136
公開番号（公開出願番号）：特開2003-043677
特許番号：特許第4710193号
出願日： 2001年08月01日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)下記一般式(1)で表される化合物であって、イミダゾール類の窒素原子に結合した水素原子の1個以上を下記式(4)に示す基で保護した化合物、
(B)感放射線性酸発生剤、並びに
(C)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂または
(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤
を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
(式中、R1 およびR2 は、互いに独立に、水素原子または置換しても良い炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状の炭化水素基を示し、R3 は、置換しても良い炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状の炭化水素基を示し、R1 、R2 およびR3 のうち少なくとも2つの基が互いに連結して環を形成しても良い。)
(式中、R3 は、上記式(1)で定義したとおりである。)
IPC (3件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, G03F 7/038 601
, G03F 7/039 601
