マスク

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-544680
特許番号：特許第6102033号
出願日： 2012年12月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被照射体が据え置かれる装備と、マスクとを含む、整列された光配向膜を製造するための装置であって、前記マスクは、曲面を有する構造物と、厚さが10μm〜300μmで、前記構造物の前記曲面に曲面形状で付着される透光性薄膜層と、前記透光性薄膜層の一面に存在し、被照射体に光をガイドすることができる開口部が一つ以上形成されている金属層と、を含み、前記透光性薄膜層は、柔軟性を有し、前記構造物の前記曲面に沿って前記曲面形状を維持し、前記被照射体は光配向膜であって、前記マスクの前記金属層の前記開口部の厚さは、前記マスクと、照射される前記光配向膜が据え置かれる装備との距離の5倍以上であり、前記マスクと照射される前記光配向膜が配される前記装備との距離が200μm以上であることを特徴とする装置。

IPC (3件)：