特許
J-GLOBAL ID：201803011338593195

加工装置のセッティング方法

発明者：
下田 誠

下田 誠 について

, 
金澤 雅喜

金澤 雅喜 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 清水 貴光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-010915
公開番号（公開出願番号）：特開2018-085537
出願日： 2018年01月25日
公開日（公表日）： 2018年05月31日
要約：
【課題】複数のチャックにそれぞれ保持されたウェハを均一に研削する加工装置のセッティング方法を提供する。【解決手段】保持手段2の上方に固設されたコラム4に粗研削手段5及び精研削手段6を設けた加工装置1による研削加工の実施前に、精研削砥石61でチャック22のチャック面を平坦、且つ、チャック22の回転軸に対して垂直に形成し、精研削砥石6の回転軸に対してチャック22の回転軸が所定範囲内に収まるように、第1の傾斜手段でチャック22の回転軸を傾斜させ、チャック22の回転軸に対して粗研削砥石51の回転軸が所定範囲内に収まるように、第2の傾斜手段9で粗研削砥石51の回転軸を傾斜させる.【選択図】図1
請求項（抜粋）：
保持手段の上方にコラムを跨設し、該コラムに粗研削手段及び精研削手段を設け、前記保持手段に保持されたウェハを前記粗研削手段及び精研削手段で研削加工する加工装置を用いて研削加工を実施する前に行う加工装置のセッティング方法であって、 前記保持手段は、前記ウェハを保持する複数のチャックと、前記チャックを傾斜させる第1の傾斜手段と、を備え、 前記粗研削手段は、前記ウェハを研削する粗研削砥石と、前記粗研削砥石を傾斜させる第2の傾斜手段と、を備え、 前記精研削手段の精研削砥石で前記チャックのチャック面を平坦且つ前記チャックの回転軸に対して垂直に形成し、 前記精研削砥石の回転軸に対して前記チャックの回転軸が所定範囲内に収まるように、前記第1の傾斜手段で前記チャックの回転軸を傾斜させ、 前記チャックの回転軸に対して前記粗研削砥石の回転軸が所定範囲内に収まるように、前記第2の傾斜手段で前記粗研削砥石の回転軸を傾斜させることを特徴とする加工装置のセッティング方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  B24B 7/04
FI (2件)：
H01L21/304 631 ,  B24B7/04 B
Fターム (15件)：
3C043BA04 ,  3C043BA09 ,  3C043BA14 ,  3C043BA15 ,  3C043BA16 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  5F057AA02 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057BB09 ,  5F057CA11 ,  5F057DA08 ,  5F057DA11 ,  5F057FA13
引用特許：
出願人引用 (11件)
  • 研削加工装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-109803   出願人：株式会社ディスコ
  • 加工装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-017234   出願人：株式会社ディスコ
  • 基板の薄厚平坦化加工装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-055670   出願人：株式会社岡本工作機械製作所
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