特許
J-GLOBAL ID：201803011794781386
非臨界流れ状態での圧力式流量測定の方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-529497
公開番号（公開出願番号）：特表2018-526757
出願日： 2016年08月23日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：
圧力式流量測定のための方法、システム、および装置を提供する。【解決手段】プロセッサは、圧力式質量流量コントローラ(MFC)から上流圧力値Puを受け取る。プロセッサは、受け取った上流圧力値Puに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)の下流圧力値Pdを算出する。プロセッサは、受け取った上流圧力値Puと算出した下流圧力値Pdとに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)の流量Qを算出する。プロセッサは、算出した流量Qに基づいて、圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する。前記方法、システム、および装置は、非臨界または非チョーク流れの状態における流量測定に使用することができる。
請求項（抜粋）：
流体流れの圧力式流量測定のためのシステムであって、
流量制御弁と、流量制限器と、前記流量制限器の上流に圧力センサとを備え、前記流量制御弁、前記流量制限器、および前記圧力センサは流れに沿って配置されている、圧力式質量流量コントローラ(MFC)と、
前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)に接続されている1つ以上のプロセッサと、
前記1つ以上のプロセッサに接続され、命令を含むメモリであって、前記命令が前記1つ以上のプロセッサによって実行されると、前記1つ以上のプロセッサが、
(i)前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)から、上流圧力値Puを受け取り、
(ii)受け取った前記上流圧力値Puに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の下流圧力値Pdを計算し、
(iii)受け取った前記上流圧力値Puと計算した前記下流圧力値Pdとに基づいて、前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)の流量Qを計算し、
(iv)計算した前記流量Qに基づいて前記圧力式質量流量コントローラ(MFC)を通る流れを制御する、メモリと、
を備えるシステム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5H307BB01
, 5H307BB05
, 5H307EE02
, 5H307EE07
, 5H307EE12
, 5H307FF03
, 5H307FF12
, 5H307FF15
, 5H307HH04
, 5H307HH12
出願人引用 (17件)
全件表示
審査官引用 (17件)
全件表示
前のページに戻る
