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J-GLOBAL ID：200903009182382798

ポジ型感光性組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦

, 
青合 利明

About 青合 利明


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001069052
Publication number (International publication number)：2002268224
Application date： Mar. 12, 2001
Publication date： Sep. 18, 2002
Summary：
【要約】【課題】 輪帯照明を用いた際に高解像力であり、デフォーカスラチチュードが広く、ハーフトーン位相シフトマスクを用いてパターン形成した際にサイドローブが発生し難く、且つ経時保存時にパーティクルが発生し難いポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により炭素数2〜4のフッ素置換アルカンスルホン酸を発生する化合物と、特定の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂と、塩基性化合物と、フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤とを含有するポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A)活性光線又は放射線の照射により炭素数2〜4のフッ素置換アルカンスルホン酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(C)塩基性化合物、及び(D)フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (7)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/42 ,  C08K 5/541 ,  C08L101/00 ,  H01L 21/027
FI (7)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/16 ,  C08K 5/42 ,  C08L101/00 ,  C08K 5/54 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (38)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002BG071 ,  4J002BH001 ,  4J002CE001 ,  4J002EB068 ,  4J002EN017 ,  4J002ER027 ,  4J002EU027 ,  4J002EU047 ,  4J002EU117 ,  4J002EU137 ,  4J002EU207 ,  4J002EU237 ,  4J002EV236 ,  4J002EX008 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002GP03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
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