酸化膜透明導電膜およびそれを用いた透明導電性基材、薄膜トランジスタ基板、光電変換素子、光検出素子

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007042943
Publication number (International publication number)：2007273455
Application date： Feb. 22, 2007
Publication date： Oct. 18, 2007
Summary：

【課題】可視及び赤外域での透過性に優れた酸化物透明導電膜を提供することを目的とする。また、本発明の酸化物透明導電膜を光電変換素子の透明電極として用いることにより、従来では不可能であった赤外域の分光感度の高い高効率太陽電池、あるいは微弱な赤外線を検出できる高性能光検出素子を実現することを目的とする。【解決手段】酸化物透明導電膜は、酸化インジウムを主成分とし、ジルコニウムを含有する透明導電膜において、ジルコニウム/インジウムの原子数比が0より大きく0.1以下の割合で含まれていることを特徴とする。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

酸化インジウムを主成分とし、ジルコニウムを含有する酸化物透明導電膜において、ジルコニウム/インジウムの原子数比が0より大きく0.1以下の割合で含まれていることを特徴とする酸化物透明導電膜。

IPC (7)：

H01B 1/08 , H01L 31/10 , H01L 31/04 , H01B 5/14 , H01L 29/786 , H01L 21/28 , C23C 14/08

FI (8)：

H01B1/08 , H01L31/10 H , H01L31/04 H , H01L31/04 M , H01B5/14 A , H01L29/78 612C , H01L21/28 301R , C23C14/08 D

F-Term (34)：

4K029AA09 , 4K029BA45 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029CA01 , 4K029DB05 , 4K029DB20 , 4M104BB36 , 4M104BB38 , 4M104BB39 , 4M104DD37 , 4M104GG05 , 4M104HH16 , 5F049MA04 , 5F049NA01 , 5F049SE02 , 5F049WA01 , 5F051FA02 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110BB09 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110HL07 , 5G301CA02 , 5G301CA15 , 5G301CA28 , 5G301CD03 , 5G301CE01 , 5G307FB01 , 5G307FC09

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特許第3133449号公報
特許第2624410号公報
半導体受光素子とその製造方法、およびそれを用いた光センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-017203 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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Cited by examiner (9)

導電性酸化物およびそれを用いた電極
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-280505 Applicant：ホーヤ株式会社
高抵抗化酸化インジウム膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-021912 Applicant：日本曹達株式会社
光起電力素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-075023 Applicant：キヤノン株式会社

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