deepUVでの改良された熱硬化性抗反射コーティング

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萼経夫 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000514166
Publication number (International publication number)：2002502982
Application date： Sep. 28, 1998
Publication date： Jan. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】 deep UVでの改良された熱硬化性抗反射コーティングを提供する。【解決手段】改良されたエッチ速度を有し、なかんずく、特定の高分子量ポリマーおよびコポリマー、特にグリシジルメタクリレートから製造した抗反射コーティング組成物。

Claim (excerpt)：

a.高分子量アクリルポリマーまたはコポリマーとdeep UV光吸収性のカルボン酸染料またはフェノール染料との反応生成物であって、前記カルボン酸染料またはフェノール染料が、カルボン酸染料の場合はヒドロキシエステル部分を介して、またはフェノール染料の場合はヒドロキシエーテル部分を介して結合した前記ポリマーまたはコポリマーを有し、前記部分は反応の間にその場で形成する反応生成物と、 b.メラミン、尿素、ベンジオグアナミン、グリコルリルおよびそれらの誘導体からなる群より選択されるアルキル化アミノプラスト架橋剤と、 c.硬化のためのプロトン酸触媒と、および d.少なくともアルコール20パーセントを含む低ないし中、即ち70°Cないし80°Cの沸点のアルコール含有溶媒系を含む改良された熱硬化性deep UV抗反射組成物であって、早い硬化速度、高い光学密度、ホトレジスト間の高い差溶解度を有する安全な揮発性溶媒中での良好な溶解度および塗布性を保ちかつ改良された適合性および像被覆を有しつつ、改良されたプラズマエッチ速度を有する組成物。

IPC (2)：

G03F 7/11 503 , C08F220/32

FI (2)：

G03F 7/11 503 , C08F220/32

F-Term (44)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA09 , 2H025AA16 , 2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025CB17 , 2H025CB29 , 2H025DA34 , 2H025FA41 , 4J100AL03Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL09Q , 4J100AL10P , 4J100BA02H , 4J100BA02P , 4J100BA03H , 4J100BA03P , 4J100BA05P , 4J100BA10H , 4J100BA10P , 4J100BB01P , 4J100BB01Q , 4J100BC44P , 4J100BC48H , 4J100BC48P , 4J100BC49H , 4J100BC49P , 4J100BC65P , 4J100BC69H , 4J100BD15H , 4J100BD15P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA31 , 4J100DA01 , 4J100HA11 , 4J100HA61 , 4J100HC09 , 4J100HC27 , 4J100JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

熱硬化性反射防止性コーティングおよびその製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-509244 Applicant：ブリューアーサイエンスインコーポレイテッド
フォトレジスト剥離剤組成物および剥離方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-069746 Applicant：三菱瓦斯化学株式会社
レジスト用剥離液組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-335728 Applicant：東京応化工業株式会社

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