露光装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (7)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005260463
Publication number (International publication number)：2007072267
Application date： Sep. 08, 2005
Publication date： Mar. 22, 2007
Summary：

【課題】基板の温度調整を的確に行って基板における所定の露光領域に均質に、かつ効率的に露光し、装置の構成を簡単にして、その所要設置空間も小さくする。【解決手段】露光装置は、基板搬送手段によって一定方向に搬送される基板Wに対して、露光領域27において露光光源からの露光光を露光光学系を通して照射し、基板W上に所要の露光パターンPを形成する露光ヘッドを有し、露光領域27を間にして基板Wの搬送方向における上流側と下流側の位置に、基板Wの下側へ温度調整された気体を単位パッド(パッド部)22から噴出させる気体噴出孔30と単位パッド22,22間の凹部22aから噴出気体を吸引する気体吸引孔29を備えて基板Wを浮上させた状態で支持する基板支持パッド11が配置された構成とされている。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

基板搬送手段によって一定方向に搬送される基板に対して、露光領域において露光光源からの露光光を露光光学系を通して照射し、前記基板上に所要の露光パターンを形成する露光装置であって、前記露光領域を間にして前記基板の搬送方向における上流側と下流側の位置に、基板の下側へ温度調整された気体を噴出させて基板を浮上させた状態で支持する基板支持パッドが配置されていることを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 , G02B 5/20

FI (2)：

G03F7/20 501 , G02B5/20 101

F-Term (8)：

2H048BA11 , 2H048BA43 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 2H097AB07 , 2H097BA02 , 2H097LA12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (16)

基板の温度管理方法及び温度管理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-087007 Applicant：大日本印刷株式会社
板状のワークの温度制御方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-268424 Applicant：株式会社朝日工業社
基板温度処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-157529 Applicant：キヤノン株式会社

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Cited by examiner (14)

露光装置用露光テーブル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-319045 Applicant：株式会社オーク製作所
空気浮上装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-055361 Applicant：オルボテックリミテッド
エア浮上式コンベア
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-013756 Applicant：日立機電工業株式会社

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