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J-GLOBAL ID:201303073169282590

表面処理方法および表面処理された物品

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発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  鈴木 三義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-187000
公開番号(公開出願番号):特開2013-031842
出願日: 2012年08月27日
公開日(公表日): 2013年02月14日
要約:
【課題】物品に付着しているよごれなどの有機物を大気中に飛散させることなく分解または除去でき、かつ物品の損傷が抑えられる表面処理方法、物品の損傷を抑えながら、物品表面をエッチングする表面処理方法、および表面を高度に洗浄し、損傷がほとんどない物品や表面をエッチングしながら、損傷のない物品を提供する。【解決手段】水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、該液体中において、水に対する接触角が90度以下である材料に付着している有機物に接触させて、該有機物を材料から除去する表面処理方法;水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が90度以下である材料に接触させて、該材料を破壊せずに、該材料の表面をエッチングするエッチング方法。【選択図】図1
請求項(抜粋):
水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が90度以下である材料に付着している有機物に接触させて、該有機物を材料から除去する表面処理方法。
IPC (6件):
B01J 19/08 ,  C03C 23/00 ,  C04B 41/80 ,  H01L 21/306 ,  B08B 7/00 ,  B08B 3/08
FI (6件):
B01J19/08 E ,  C03C23/00 A ,  C04B41/80 Z ,  H01L21/306 F ,  B08B7/00 ,  B08B3/08
Fターム (33件):
3B116AA46 ,  3B116BB01 ,  3B116BB89 ,  3B116BC01 ,  3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BB01 ,  3B201BB89 ,  3B201BB92 ,  3B201BC01 ,  4G059AA01 ,  4G059AC30 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  5F043AA22 ,  5F043BB15 ,  5F043DD10 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10 ,  5H026AA06 ,  5H026BB00 ,  5H026BB04 ,  5H026CX05 ,  5H026EE19
引用特許:
審査官引用 (15件)
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