耐プラズマ性部材およびその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松山允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036819
公開番号（公開出願番号）：特開2002-087878
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】曲げ強度や強靱性などの機械的な強度もすぐれた低コスト型の耐プラズマ部材、およびその製造方法の提供。【解決手段】耐プラズマ性部材の発明は、実質的にイットリウムアルミニウムガーネット焼結体から成り、かつその焼結体の平均結晶粒径の適正な選択、強化剤の添加含有などによって、焼結体中ないし焼結体組織を強化させたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

実質的にイットリウムアルミニウムガーネット焼結体から成り、かつその焼結体の平均結晶粒径が1μm以下であることを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (3件)：

C04B 35/44 , C23C 14/34 , C23C 16/44

FI (3件)：

C04B 35/44 , C23C 14/34 T , C23C 16/44 B

Fターム (22件)：

4G031AA02 , 4G031AA07 , 4G031AA08 , 4G031AA10 , 4G031AA12 , 4G031AA29 , 4G031BA01 , 4G031BA20 , 4G031CA07 , 4G031GA01 , 4G031GA03 , 4G031GA06 , 4G031GA11 , 4G031GA12 , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BD01 , 4K029DC27 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030KA14 , 4K030KA46

引用特許：

審査官引用 (26件)

特開昭63-260856
半導体素子製造装置用部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-015832 出願人：京セラ株式会社
アルミナ基セラミックス焼結体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-347611 出願人：工業技術院長

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