特許
J-GLOBAL ID：200903027948197023

反射分光スペクトル観測のための光学配置

発明者：
西澤 誠治

西澤 誠治 について

, 
岩本 敏志

岩本 敏志 について


出願人/特許権者：
独立行政法人科学技術振興機構

独立行政法人科学技術振興機構 について

, 
西澤 誠治

西澤 誠治 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-357609
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121513
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 試料部入出射光学系の“光線間の時間ずれ”を回避して、より高精度の分光計測ができる時系列変換パルス分光計測装置を提供することである。【解決手段】 本発明の時系列変換パルス分光計測装置は、光放射手段と、該光放射手段からの光が照射された試料からの反射光の電界強度の時系列信号を検出する検出手段と、試料を保持する試料保持部と、前記光放射手段側からの光を試料へ導光すると共に前記照射による試料からの反射光を前記検出手段側へ導光する試料部入出射光学系と、を備えた時系列変換パルス分光計測装置において、前記試料部入出射光学系は、前記試料の試料面に垂直な光軸に対して180°回転対称な光学配置を有し、かつ、前記光放射手段側から前記試料部入出射光学系への入射光束及び前記試料部入出射光学系から前記検出手段側への出射光束について光学的整合を有することを特徴とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
光放射手段と、 該光放射手段からの光が照射された試料からの反射光の電界強度の時系列信号を検出する検出手段と、
IPC (4件)：
G01N21/27 ,  G01J3/10 ,  G01J3/28 ,  G01N21/35
FI (4件)：
G01N21/27 B ,  G01J3/10 ,  G01J3/28 ,  G01N21/35 Z
Fターム (25件)：
2G020AA03 ,  2G020BA05 ,  2G020CA02 ,  2G020CA12 ,  2G020CA14 ,  2G020CB05 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CB54 ,  2G020CC22 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD24 ,  2G020CD35 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (6件)
  • 半導体評価装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-262517   出願人：株式会社神戸製鋼所
  • 試料情報取得方法及びテラヘルツ光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-312866   出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
  • 赤外分光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-319956   出願人：日本分光株式会社, 科学技術振興事業団
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