特許
J-GLOBAL ID：200903032301766283
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-426162
公開番号（公開出願番号）：特開2004-220009
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れ、現像後のパターン側壁のラフネスを低減する感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、上記酸解離性基含有樹脂は、下記式(1)で表される繰り返し単位を含み、重量平均分子量と数平均分子量との比(Mw/Mn)が1.5よりも小さい。【化1】【選択図】 無
請求項（抜粋）：
アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、
前記酸解離性基含有樹脂は、下記式(1)で表される繰り返し単位を含み、重量平均分子量と数平均分子量との比(重量平均分子量/数平均分子量)が1.5よりも小さいことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/039
, C08F220/18
, G03F7/033
, H01L21/027
G03F7/039 601
, C08F220/18
, G03F7/033
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA04
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB45
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025FA17
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100BA03R
, 4J100BC03P
, 4J100BC04P
, 4J100BC07Q
, 4J100BC09Q
, 4J100BC09R
, 4J100BC53P
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100JA38
出願人引用 (3件)
審査官引用 (15件)
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