特許
J-GLOBAL ID：200903041336925979
ウェハダイシング・接着用シート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223988
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067558
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】 室温条件または温和な熱圧着条件でウエハに貼着可能で回路面等への負担が少なく、さらにダイシングの際にはダイシングテープとして使用することができ、しかも接着剤としてウェハ裏面にマウントすることができ、リードフレーム等との接着力に優れ、ダイボンド後に耐熱性、耐老化性等に優れた硬化物を形成しうる接着剤層を備えた接着用シートを提供すること。【解決手段】 本発明に係るウェハダイシング・接着用シートは、基材と、その上に形成された接着剤層とからなり、該接着剤層がポリイミド系樹脂と、該ポリイミド系樹脂と相溶する含窒素有機化合物とを含む接着剤組成物からなることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
基材と、その上に形成された接着剤層とからなり、該接着剤層がポリイミド系樹脂と該ポリイミド系樹脂と相溶する含窒素有機化合物とを含む接着剤組成物からなるウェハダイシング・接着用シート。
IPC (5件)：
C09J179/08 JGE
, C09J 7/02 JKD
, C09J 7/02 JKK
, C09J 7/02 JLE
, H01L 21/301
C09J179/08 JGE
, C09J 7/02 JKD
, C09J 7/02 JKK
, C09J 7/02 JLE
, H01L 21/78 M
