特許
J-GLOBAL ID：201103042074650242
ボール転写方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116396
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012593
特許番号：特許第3981498号
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 配列基板のボール配列部にボールを吸着することにより仮配列させた後、これらのボールを接着あるいは接合すべき所定の対象部に位置合わせして転写するボール転写方法であって、
前記配列基板にボールを仮配列させる工程で、前記配列基板を超音波振動で微振動させ、そのボール配列面にガス流を吹きつけ、前記ボール配列部に適正に吸着されているボール以外の余剰ボールを除去するようにしたことを特徴とするボール転写方法。
IPC (4件)：
H01L 21/60 ( 200 6.01)
, B23K 1/00 ( 200 6.01)
, B23K 3/06 ( 200 6.01)
, H05K 3/34 ( 200 6.01)
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/60 311 S
, B23K 1/00 330 E
, B23K 3/06 H
, H05K 3/34 505 A
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (8件)
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