圧電素子供給装置及び圧電素子の電気的特性測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須藤雄一 , 須藤大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-203127
公開番号（公開出願番号）：特開2014-059925
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：

【課題】圧電素子の組付け直前に検査を行なうことを可能にする圧電素子供給装置及び圧電素子の電気的特性測定方法を提供する。【解決手段】アクチュエータの取付部へ組み込むために待機して備えられた圧電素子3の一方の電極面3aを吸着部5に負圧により吸着させて圧電素子3を取付部に移載し組み込むための圧電素子供給装置1であって、吸着部5側に圧電素子3の電気的特性を測定するためのプローブ7を可動支持し、吸着部5に圧電素子3を吸着させるとき又は吸着直前にプローブ7の先端部7aを一方の電極面3aに接触させて圧電素子3の電気的特性を測定可能にする圧電素子供給装置1を用いた圧電素子の電気的特性測定方法であって、圧電素子3は、電気的特性測定器8に接続された待機部9に他方の電極面3b側が導通するように載置されて待機し、プローブ7を電気的測定器8に接続させ、圧電素子3の電気的特性を測定することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アクチュエータの取付部へ組み込むために待機して備えられた圧電素子の一方の電極面を吸着部に負圧により吸着させて該圧電素子を前記取付部に移載し組み込むための圧電素子供給装置であって、前記吸着部側に前記圧電素子の電気的特性を測定するためのプローブを可動支持し、前記吸着部に前記圧電素子を吸着させるとき又は吸着直前に前記プローブの先端部を前記一方の電極面に接触させて前記圧電素子の電気的特性を測定可能にする、ことを特徴とする圧電素子供給装置。

IPC (3件)：

G11B 21/21 , G11B 5/60 , G11B 21/10

FI (3件)：

G11B21/21 Z , G11B5/60 C , G11B21/10 N

Fターム (12件)：

5D042KA01 , 5D042KA07 , 5D042KA09 , 5D042NA02 , 5D059AA01 , 5D059BA01 , 5D059CA01 , 5D059CA18 , 5D059DA19 , 5D059DA36 , 5D059EA08 , 5D096NN03

引用特許：

出願人引用 (24件)

特許第6556028号
特許第6639411号
特開昭63-184348

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審査官引用 (28件)

特許第6556028号
特許第6639411号
特開昭63-184348

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