特許
J-GLOBAL ID:201503045698159371
モジュール部品の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鷲頭 光宏
, 緒方 和文
, 黒瀬 泰之
, 三谷 拓也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-174118
公開番号(公開出願番号):特開2015-043357
出願日: 2013年08月26日
公開日(公表日): 2015年03月05日
要約:
【課題】量産工程でのスプレー塗布により、モジュール部品の側面に好適に導電性ペーストを形成できるモジュール部品の製造方法を提供する。【解決手段】本発明によるモジュール部品の製造方法は、集合基板の主面に複数のモジュール部品1を形成する工程と、ダイシングにより、複数のモジュール部品1の間に溝3を形成する工程と、集合基板の主面に向けて導電性ペーストPを噴射する工程と、複数のモジュール部品1を個片化する工程とを備える。導電性ペーストPを噴射する工程では、噴射方向Iの主面への射影Iaが溝3の幅方向に平行となり、かつ、噴射方向Iと主面とのなす角が角度θとなるよう導電性ペーストPを噴射する。角度θは、溝3の深さをD、溝3の幅をwとすると、式(1)を満たすように設定される。 tan-1(D/2w)≦θ≦tan-1(2D/w) ・・・(1)【選択図】図4
請求項(抜粋):
集合基板の主面に複数のモジュール部品を形成する工程と、
ダイシングにより、前記複数のモジュール部品の間に溝を形成する工程と、
前記集合基板の主面に向けて導電性ペーストを噴射する工程と、
前記複数のモジュール部品を個片化する工程とを備え、
前記導電性ペーストを噴射する工程では、前記噴射方向と前記主面とのなす角が角度θとなるよう前記導電性ペーストを噴射し、
前記角度θは、前記溝の深さをD、前記溝の幅をwとして、式(1)を満たすよう設定される
tan-1(D/2w)≦θ≦tan-1(2D/w) ・・・(1)
ことを特徴とするモジュール部品の製造方法。
IPC (3件):
H05K 9/00
, H01L 21/301
, H01L 23/00
FI (3件):
H05K9/00 Q
, H01L21/78 F
, H01L23/00 C
Fターム (10件):
5E321AA17
, 5E321BB23
, 5E321GG05
, 5F063AA50
, 5F063BA18
, 5F063CB02
, 5F063CB05
, 5F063CB22
, 5F063CB25
, 5F063DD01
引用特許:
出願人引用 (12件)
全件表示
審査官引用 (12件)
全件表示
前のページに戻る