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J-GLOBAL ID:200903001614301556
ワーク研磨装置およびワーク研磨方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
,
Agent (2):
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006280840
Publication number (International publication number):2007160496
Application date: Oct. 16, 2006
Publication date: Jun. 28, 2007
Summary:
【課題】コストの低減化が図れ、面精度よく研磨が行え、また廃液処理も容易に行える電解還元水を用いたワーク研磨方法を提供する。【解決手段】本発明に係るワーク研磨方法は、ワークを研磨部材に押圧し、研磨液を供給しつつワークと研磨部材とを相対運動させることによりワークを研磨する研磨方法において、前記研磨液に電解質塩水溶液を電気分解して得られる電解還元水を用いてワークを研磨することを特徴とする。【選択図】図3
Claim (excerpt):
ワークを研磨部材に押圧し、研磨液を供給しつつワークと研磨部材とを相対運動させることによりワークを研磨する研磨方法において、
前記研磨液に電解質溶液を電気分解して得られる電解還元水を用いてワークを研磨することを特徴とするワーク研磨方法。
IPC (4):
B24B 37/00
, H01L 21/304
, B24B 55/02
, B24B 57/02
FI (4):
B24B37/00 H
, H01L21/304 622C
, B24B55/02 Z
, B24B57/02
F-Term (9):
3C047FF08
, 3C047FF19
, 3C047GG15
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AC04
, 3C058CB01
, 3C058CB05
, 3C058DA17
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (14)
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特公平8-22503号公報
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パチンコ玉研磨装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-330087
Applicant:池内祐峰
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研磨布の表面処理方法および研磨装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-045826
Applicant:日本電気株式会社
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Cited by examiner (9)
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