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J-GLOBAL ID：200903052418461727

半導体テスト装置

Inventor：
宇田 憲司

About 宇田 憲司

, 
古賀 泉

About 古賀 泉


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999188565
Publication number (International publication number)：2001013218
Application date： Jul. 02, 1999
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】多数の出力ピンを有し多段階の電圧を出力する半導体集積回路の合否判定測定テストが、簡単な構成で高速に行える半導体テスト装置を提供する。【解決手段】半導体装置の階調出力電圧に対応した期待値電圧を出力する第1の電圧発生手段と、各ピンの出力電圧と第1の電圧発生手段の出力電圧との電圧差を検出する電圧差検出手段と、電圧差検出手段の出力電圧に対応した基準電圧を出力する第2の電圧発生手段と、各ピンの電圧差検出手段の出力と第2の電圧発生手段の基準電圧との大小関係を比較する比較手段と、階調出力電圧の測定毎に比較手段の入力電圧のいずれかを上限値と下限値を含む範囲で所定極性方向に等価的に微小変化させる電圧微小変化手段と、すべての比較手段の出力がHまたはLに変化したことを検出する変化検出手段とを設け、電圧微小変化手段の出力電圧に基づき半導体装置の各階調出力電圧における最大値と最小値を求める。
Claim (excerpt)：
複数の出力ピンを有し各ピンに多段階の階調電圧を切り換え出力するように構成された表示器駆動用半導体装置の出力電圧特性をテストする半導体テスト装置であって、半導体装置の階調出力電圧に対応した期待値電圧を出力する第1の電圧発生手段と、半導体装置の各ピン系統毎に設けられ、各ピンの出力電圧と第1の電圧発生手段の出力電圧との電圧差を検出する電圧差検出手段と、電圧差検出手段の出力電圧に対応した基準電圧を出力する第2の電圧発生手段と、半導体装置の各ピン系統毎に設けられ、各ピンの電圧差検出手段の出力と第2の電圧発生手段の基準電圧との大小関係を比較する比較手段と、階調出力電圧の測定毎に比較手段の入力電圧のいずれかを上限値と下限値を含む範囲で所定極性方向に等価的に微小変化させる電圧微小変化手段と、すべての比較手段の出力がHまたはLに変化したことを検出する変化検出手段とを具備し、前記変化検出手段がすべての比較手段の出力がHまたはLに変化したことを検出したときの電圧微小変化手段の出力電圧に基づき、半導体装置の各階調出力電圧における最大値と最小値を求めることを特徴とする半導体テスト装置。
IPC (3)：
G01R 31/28 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/316
FI (3)：
G01R 31/28 H ,  G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 C
F-Term (7)：
2G003AB01 ,  2G003AE01 ,  2G003AH04 ,  2G032AA09 ,  2G032AC03 ,  2G032AE08 ,  2G032AK15
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (14)
  • デバイス検査装置及びデバイス検査方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-259371   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 多値電圧高速比較装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-022754   Applicant：株式会社アドバンテスト
  • IC試験装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-152196   Applicant：横河電機株式会社
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