有機材料の微細領域分析方法および微細領域分析装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：野河信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003425515
Publication number (International publication number)：2004279407
Application date： Dec. 22, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：

【課題】有機材料を数ナノメートルオーダーで評価するための方法を提供する。【解決手段】本発明によれば、従来技術では確立されていない有機材料の数ナノメートルオーダーでの評価装置及び評価方法が提案され、特に有機材料における電子準位間での遷移過程でのエネルギーに関する情報を、表面方向若しくは断面方向から数ナノメートル以下の空間分解能で得ることができ、更に異種物質を接合したときの界面状態の評価にも応用できる。例えば、半導体有機材料や有機発光デバイスにおける電極と有機層との界面におけるポテンシャルの勾配や荷電状態を評価し、その結果を元に素子のバンドダイヤグラムを作成し、素子の高度に高い機能発現を実現することが可能となる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

有機材料を含む試料に対して、分析対象の単分子サイズと同程度であるか、若しくはそれより小さい分析領域で、または外接円の直径が0.01nm〜10nmの分析領域で、有機材料のポテンシャルおよび荷電状態の少なくとも一方の評価を行うことを特徴とする有機材料の微細領域分析方法。

IPC (3)：

G01N23/225 , G01N1/28 , H01J37/244

FI (5)：

G01N23/225 , H01J37/244 , G01N1/28 F , G01N1/28 G , G01N1/28 K

F-Term (20)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001JA14 , 2G001LA20 , 2G001RA01 , 2G001RA10 , 2G052AA13 , 2G052AD52 , 2G052EB11 , 2G052EB13 , 2G052EC03 , 2G052EC18 , 2G052GA34 , 2G052HB08 , 5C033NN03 , 5C033NN07 , 5C033NP04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

半導体分析装置、電位分布の測定法、不純物濃度分布の測定法及びオージェ電子スペクトル解析法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-040531 Applicant：日本電気株式会社

Cited by examiner (16)

特許第3323042号
仕事関数またはイオン化ポテンシャル測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-070181 Applicant：株式会社豊田中央研究所
炭素薄膜表面の分析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-321393 Applicant：キヤノン株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

“最近の材料解析技術動向”

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