特許
J-GLOBAL ID：200903013070735610

薄板収納容器

発明者：
兵部 行遠

兵部 行遠 について


出願人/特許権者：
ミライアル株式会社

ミライアル株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-102759
公開番号（公開出願番号）：特開2007-281053
出願日： 2006年04月04日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板収納容器を提供する。【解決手段】極薄化ウエハ37を真空吸着し固定できる薄板収納容器を用いる。収納容器の真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を持つ。減圧室には支持隔壁が設置され、吸着板を支える。吸着板は、収納容器から分離できる構造である。吸着面が弾性材料で、他方が一定の強度を有する高分子材料で構成する二層構造である。収納容器は、好適にはウエハ吸着面が周縁部に対し凹状である。ウエハが真空吸着固定されるので、薄板収納容器の搬送やプロセスも自動化が可能となる。収納容器は繰り返し使用でき、環境負荷も少ない。【選択図】図3(a)
請求項（抜粋）：
ウエハを真空吸着する真空吸着部を有する薄板収納容器であって、真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、複数の吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口、および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を有し、前記減圧室には支持隔壁が設けられていて、当該減圧室を複数の部分室に分離し、前記ウエハ吸着面を支えていることを特徴とする薄板収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (3件)：
H01L21/68 P ,  H01L21/68 U ,  B65D85/38 R
Fターム (48件)：
3E096AA01 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA06 ,  3E096CB02 ,  3E096DA18 ,  3E096DA25 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02Y ,  3E096FA10 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA13 ,  5F031DA11 ,  5F031DA15 ,  5F031EA02 ,  5F031EA14 ,  5F031EA16 ,  5F031EA18 ,  5F031EA19 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA20 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA14 ,  5F031HA42 ,  5F031HA46 ,  5F031HA48 ,  5F031KA03 ,  5F031KA20 ,  5F031MA22 ,  5F031MA33 ,  5F031MA34 ,  5F031MA39 ,  5F031PA13 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA23 ,  5F031PA24
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (11件)
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