酸化膜透明導電膜およびそれを用いた透明導電性基材、薄膜トランジスタ基板、光電変換素子、光検出素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-042943
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273455
出願日： 2007年02月22日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】可視及び赤外域での透過性に優れた酸化物透明導電膜を提供することを目的とする。また、本発明の酸化物透明導電膜を光電変換素子の透明電極として用いることにより、従来では不可能であった赤外域の分光感度の高い高効率太陽電池、あるいは微弱な赤外線を検出できる高性能光検出素子を実現することを目的とする。【解決手段】酸化物透明導電膜は、酸化インジウムを主成分とし、ジルコニウムを含有する透明導電膜において、ジルコニウム/インジウムの原子数比が0より大きく0.1以下の割合で含まれていることを特徴とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

酸化インジウムを主成分とし、ジルコニウムを含有する酸化物透明導電膜において、ジルコニウム/インジウムの原子数比が0より大きく0.1以下の割合で含まれていることを特徴とする酸化物透明導電膜。

IPC (7件)：

H01B 1/08 , H01L 31/10 , H01L 31/04 , H01B 5/14 , H01L 29/786 , H01L 21/28 , C23C 14/08

FI (8件)：

H01B1/08 , H01L31/10 H , H01L31/04 H , H01L31/04 M , H01B5/14 A , H01L29/78 612C , H01L21/28 301R , C23C14/08 D

Fターム (34件)：

4K029AA09 , 4K029BA45 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029CA01 , 4K029DB05 , 4K029DB20 , 4M104BB36 , 4M104BB38 , 4M104BB39 , 4M104DD37 , 4M104GG05 , 4M104HH16 , 5F049MA04 , 5F049NA01 , 5F049SE02 , 5F049WA01 , 5F051FA02 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110BB09 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110HL07 , 5G301CA02 , 5G301CA15 , 5G301CA28 , 5G301CD03 , 5G301CE01 , 5G307FB01 , 5G307FC09

引用特許：

出願人引用 (6件)

特許第3133449号公報
特許第2624410号公報
半導体受光素子とその製造方法、およびそれを用いた光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-017203 出願人：富士ゼロックス株式会社

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審査官引用 (9件)

導電性酸化物およびそれを用いた電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-280505 出願人：ホーヤ株式会社
高抵抗化酸化インジウム膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-021912 出願人：日本曹達株式会社
光起電力素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-075023 出願人：キヤノン株式会社

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