特許
J-GLOBAL ID：200903063501320126
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-137757
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188347
出願日： 2000年05月10日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 組成物としての保存安定性が優れ、かつ放射線に対する透明性が高く、しかもドライエッチング耐性、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)3-ヒドロキシ-1-アダマンチル(メタ)アクリレート、3-(8’-シアノテトラシクロ[ 4.4.0.12,5 .17,10 ]ドデシル)(メタ)アクリレート等で代表される酸素含有極性基または窒素含有極性基を含有する脂環式骨格を有する(メタ)アクリル酸誘導体に由来する繰返し単位と、2-メチル-2-アダマンチル(メタ)アクリレート等で代表される脂環式骨格を有する他の(メタ)アクリル酸誘導体に由来する繰返し単位とを有する酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される繰返し単位および下記一般式(2)で表される繰返し単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のヒドロキシアルキル基を示し、Aは単結合または主鎖炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基を示し、R2は下記式(i)(但し、R3 は炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基を示し、X1 は1価の酸素含有極性基または1価の窒素含有極性基を示す。)、式(ii) (但し、R4 は炭素数4〜20の3価の脂環式炭化水素基を示し、X2 は2価の酸素含有極性基または2価の窒素含有極性基を示す。)または式(iii)(但し、R5 は炭素数4〜20の4価の脂環式炭化水素基を示し、X3 は3価の酸素含有極性基または3価の窒素含有極性基を示す。)【化2】で表される基を示す。〕【化3】〔一般式(2)において、R6 は水素原子、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルコキシル基または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のヒドロキシアルキル基を示し、R7 は炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基または下記式(iv) 【化4】(但し、各R8 は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基を示し、かつ少なくとも1つのR8 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であるか、あるいは何れか2つのR8 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子とともに炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基を形成し、残りのR8 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基である。)で表される基を示す。〕
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, C08K 5/00
, C08L 33/14
, C08L 45/00
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08K 5/00
, C08L 33/14
, C08L 45/00
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J002BG041
, 4J002BG051
, 4J002BG071
, 4J002BK001
, 4J002EB006
, 4J002EB126
, 4J002EQ016
, 4J002EU046
, 4J002EU186
, 4J002EV216
, 4J002EV246
, 4J002EV266
, 4J002EV296
, 4J002EV306
, 4J002EW176
, 4J002EY006
, 4J002FD206
, 4J002GP03
