少なくとも2つの高周波電力発生器のドライブ制御方法、高周波電力発生器ドライブ制御装置および高周波プラズマ励起装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：矢野敏雄 , 山崎利臣 , 久野琢也 , 杉本博司 , 星公弘 , 二宮浩康 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト , ラインハルト・アインゼル
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-287606
公開番号（公開出願番号）：特開2008-117777
出願日： 2007年11月05日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】プラズマプロセスに高周波エネルギを供給する高周波電力発生器3,4を生成されるドライブ制御信号C,Dを使用してドライブ制御するための方法においてプラズマチャンバの種々様々な電極のできるだけフレキシブルな電力供給を可能にする。【解決手段】パルス信号E,Fが生成され、かつそれぞれ1つのドライブ制御信号C,Dおよびパルス信号E,Fを使用してそれぞれの高周波電力発生器によりパルス化された高周波エネルギ信号G,Hが生成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマプロセスに高周波電力を供給する少なくとも2つの高周波電力発生器(3,4)を生成される少なくとも2つのドライブ制御信号(C,D)を使用してドライブ制御するための方法において、少なくとも1つのパルス信号(E,F)が生成され、かつそれぞれ1つのドライブ制御信号(C,D)およびパルス信号(E,F)を使用してそれぞれの高周波エネルギ電力発生器(3,4)によりパルス化された高周波電力信号(G,H)が生成されることを特徴とする方法。

IPC (1件)：

H05H 1/46

FI (2件)：

H05H1/46 R , H05H1/46 M

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許第5698062号
米国特許第5824606号
米国特許第6673724B2号

審査官引用 (15件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-198376 出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
放電電極への給電方法、高周波プラズマ発生方法および半導体製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-085281 出願人：三菱重工業株式会社
高周波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-363580 出願人：株式会社アルバック, 株式会社アドテックプラズマテクノロジー

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