特許
J-GLOBAL ID:200903092184578201
樹脂封止型半導体装置とそれに用いられるエッチング部材、樹脂封止型半導体装置の製造方法、および積層型樹脂封止型半導体装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
金山 聡
, 深町 圭子
, 伊藤 英生
, 藤枡 裕実
, 後藤 直樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-151593
公開番号(公開出願番号):特開2009-135406
出願日: 2008年06月10日
公開日(公表日): 2009年06月18日
要約:
【課題】 反りが発生しづらい構造の薄型のSONタイプ、QFNタイプの樹脂封止型半導体装置で、量産性の良いものを提供する。更に、このような薄型の樹脂封止型半導体装置を複数積層した、スタック構造の積層型樹脂封止型半導体装置を提供する。同時に、このような薄型の樹脂封止型半導体装置の製造方法の提供する。【解決手段】 各端子部材の、非エッチング面と外部端子部の外側側面とを、露出させ、前記端子部材の厚さにして樹脂封止しており、樹脂封止型半導体装置であって、各端子部材の、非エッチング面側と外部端子部の外側側面とを、露出させ、前記端子部材の厚さに収めて樹脂封止しており、且つ、前記半導体チップは、その両面の封止用樹脂の厚さを等しく揃えて、配設されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
外部回路と接続するための外部端子部と、半導体チップと接続するための内部端子部をその一部として含むリード部とを、一体的に連結してなる端子部材で、且つ、加工用素材から、外部端子部の少なくとも一部を加工用素材の厚さの厚肉にし、リード部を加工用素材の一面側からのエッチングにより薄肉としている端子部材、複数個と、半導体チップ1つとを、用いて、該複数の端子部材を一平面状にその向きを揃えて、半導体チップの周辺に沿って、外部端子部を外側に向けて、リード部を内側に向けて、配し、半導体チップを前記複数の端子部材のリード部のエッチング形成された面であるエッチング面上まで延設して配し、且つ、半導体チップと所定の端子部材とを電気的に接続し、樹脂封止している樹脂封止型半導体装置であって、各端子部材の、エッチング面側でない非エッチング面側と外部端子部の外側側面とを、露出させ、前記端子部材の厚さにして樹脂封止しており、且つ、前記半導体チップは、その両面の封止用樹脂の厚さを等しく揃えて、配設されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
IPC (6件):
H01L 23/50
, H01L 23/28
, H01L 21/56
, H01L 25/10
, H01L 25/11
, H01L 25/18
FI (4件):
H01L23/50 R
, H01L23/28 A
, H01L21/56 T
, H01L25/14 Z
Fターム (26件):
4M109AA01
, 4M109BA01
, 4M109CA21
, 4M109DA04
, 4M109DA10
, 5F061AA01
, 5F061BA01
, 5F061CA21
, 5F061CB13
, 5F061DD12
, 5F061EA03
, 5F067AA01
, 5F067AA05
, 5F067AB04
, 5F067BA02
, 5F067BB01
, 5F067BC13
, 5F067BC14
, 5F067BD05
, 5F067BD08
, 5F067BE10
, 5F067DA17
, 5F067DC15
, 5F067DC17
, 5F067DE14
, 5F067DF03
引用特許:
出願人引用 (4件)
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樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-109197
出願人:松下電子工業株式会社
-
樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-060812
出願人:松下電子工業株式会社
-
樹脂封止型半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-213722
出願人:大日本印刷株式会社
-
特願2006-213060 しかし、このように、サポートバーを設け構造強化を図っても、樹脂封止型半導体装置が反るという別の問題が生じていた。 反りが発生する原因の一つとして、樹脂封止型半導体装置に用いられる部材の熱膨張の差が挙げられ、樹脂封止型半導体装置を構成する部材の配置や部材の占める体積によって反りの程度が変化する。 従来の樹脂封止型半導体装置は樹脂が占める体積の割合が大きいため、樹脂封止型半導体装置全体の熱膨張は樹脂の熱膨張に大きく依存していた。 その結果、モールド後の反りを抑制できていた。 しかし、樹脂封止型半導体装置の薄型化が進むにつれて、樹脂封止型半導体装置に占める封止樹脂の体積の割合が小さくなり、膨張係数の異なる各部材の熱膨張係数の違いや、樹脂封止型半導体装置に占める各部材の割合から、収縮による樹脂封止型半導体装置の反りを抑えきれなくなってきた。
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審査官引用 (13件)
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