感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 菅野重慶
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-232552
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066503
出願日： 2008年09月10日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：

【課題】焦点深度が広く、LWR及びMEEFが小さく、パターン倒れ特性に優れ、かつ、現像欠陥性能にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】樹脂(A)と、感放射線性の酸発生剤(B)と、酸拡散抑制剤(C)と、溶剤(D)とを含有し、前記樹脂(A)が、側鎖に環状炭酸エステル構造を有する繰り返し単位(a-1)を有する重合体であり、前記酸拡散抑制剤(C)が、特定構造の窒素含有化合物である感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

樹脂(A)と、感放射線性の酸発生剤(B)と、酸拡散抑制剤(C)と、溶剤(D)とを含有し、前記樹脂(A)が、下記一般式(a-1)で示される繰り返し単位(a-1)を有する重合体であり、前記酸拡散抑制剤(C)が、下記一般式(C-1)で示される窒素含有化合物である感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , C08F 20/26 , C08F 220/26 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , C08F20/26 , C08F220/26 , H01L21/30 502R

Fターム (32件)：

2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BF02 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA10 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J100AL02Q , 4J100AL03Q , 4J100AL04Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL26P , 4J100AL26Q , 4J100BA11Q , 4J100BC03Q , 4J100BC08P , 4J100BC09Q , 4J100BC53Q , 4J100BC60P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (17件)

レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-050264 出願人：富士通株式会社
高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-165085 出願人：信越化学工業株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-072984 出願人：JSR株式会社

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引用文献：

出願人引用 (1件)

New Protective Groups in Alicyclic Methacrylate Polymers for 198-nm Resists

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