化学増幅ネガ型レジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：久保山隆 , 中山亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154947
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347392
特許番号：特許第3931482号
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性樹脂、架橋剤、下式(I) (式中、Rは、無置換の若しくは置換されたアルキル、脂環式炭化水素残基、アリール又はカンファー基を表す) で示されるN-置換スクシンイミド化合物、及び該N-置換スクシンイミド化合物とは別の酸発生剤として下式(IV) (式中、R11は、無置換の若しくは置換されたアルキル、脂環式炭化水素残基、アリール又はカンファー基を表し、R12、R13及びR14は互いに独立に、水素、ハロゲン、アルキル、アルコキシ又はアルキル置換アミノを表す) で示されるオキシムスルホネート化合物を含有することを特徴とする、化学増幅ネガ型レジスト組成物。

IPC (3件)：