光学系、露光装置、及び光学特性の調整方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006092588
Publication number (International publication number)：2007266511
Application date： Mar. 29, 2006
Publication date： Oct. 11, 2007
Summary：

【課題】光学部材の損傷の恐れがなく、かつ再現性のある状態で、非回転対称な収差の補正を行う。【解決手段】凹面鏡22を有する投影光学系において、凹面鏡22に当接可能な状態で配置されたプローブ27aと、粗動マイクロメータ26Aによって板ばね部28aを駆動することによってプローブ27aを凹面鏡22の凸部22aに当接させる方向に駆動する粗動機構と、プローブ27aが凸部22aに当接した後、微動マイクロメータ26Bによって板ばね部28bを駆動することによって、プローブ27aが凸部22aに加える力を制御する微動機構とを備える。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

光学部材を有する光学系において、前記光学部材から離れて配置され、前記光学部材に当接可能な当接部材と、前記当接部材を前記光学部材に当接させる方向に駆動する第1駆動機構と、前記当接部材が前記光学部材に当接した後、前記当接部材が前記光学部材に加える力を制御する第2駆動機構とを備えたことを特徴とする光学系。

IPC (2)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (3)：

H01L21/30 516A , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D

F-Term (6)：

5F046BA03 , 5F046CB03 , 5F046CB25 , 5F046CB27 , 5F046DA13 , 5F046DB14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

光学系、特にマイクロリソグラフィの投影露光装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-556280 Applicant：カール・ツアイス・スティフツング・トレーディング・アズ・カール・ツアイス
光学システム、特にマイクロリソグラフィ-に用いられる投影照明ユニット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-348922 Applicant：カール-ツアイス-スチフュングトレディングエーエスカールツアイス

Cited by examiner (15)

波面収差補正装置及び露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-173355 Applicant：株式会社ニコン
光学系における収差の能動補償のための装置、システム、および方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-579009 Applicant：エーエスエムエルユーエス,インコーポレイテッド
リゾグラフィック投影システムにおける変形可能な鏡を成形するための空気圧式制御システムおよび方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2002-517575 Applicant：エーエスエムエルユーエス,インコーポレイテッド

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