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J-GLOBAL ID：200903040915081468

光学システム、特にマイクロリソグラフィ-に用いられる投影照明ユニット

Inventor：
エリッチ メルツ

About エリッチ メルツ

, 
ジョシェン ベッカー

About ジョシェン ベッカー


Applicant, Patent owner：
カール-ツアイス-スチフュング トレディング エーエス カール ツアイス

About カール-ツアイス-スチフュング トレディング エーエス カール ツアイス


Agent (1)： 村田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999348922
Publication number (International publication number)：2000195788
Application date： Dec. 08, 1999
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 特にスロット状の視野或いは非回転対称照明を伴う光学システム、特にマイクロリソグラフィーに用いられる投影照明ユニットを提供する。【解決手段】取り付け台7又は内側リングに配置されている光学エレメント1、特にレンズ又はミラーと、アクチュエータ8a、8b及び9a、9bとを有する。複数のアクチュエータ8a、8b及び9a、9bは、張力及び/又は圧縮力を発生させるために半径方向力-変位伝動装置を介して変形可能な内側リングに作用する。
Claim (excerpt)：
特にスロット状の視野或いは非回転対称照明を伴う光学システム、特にマイクロリソグラフィーに用いられる投影照明ユニットであって、該システムは、取り付け台又は内側リングに配置されている光学エレメント、特にレンズ又はミラーと、該光学エレメント及び/又は該内側リングに作用するアクチュエータとを有し、張力及び/又は圧縮力を発生させるために複数のアクチュエータ(8a、8b及び9a、9b)が半径方向力-変位・伝動装置を介して変形可能な内側リング(2)に作用することを特徴とする光学システム。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2)：
H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (23)
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