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J-GLOBAL ID：200903023309239550

ポジ型感光性組成物

Inventor：
佐藤 健一郎

About 佐藤 健一郎

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児玉 邦彦

About 児玉 邦彦

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上西 一也

About 上西 一也

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青合 利明

About 青合 利明


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996250518
Publication number (International publication number)：1998097060
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 高感度で高解像力、かつ露光後加熱処理までの経時でレジストパターンの細りが生じたり、レジストパターン表面の形状がT型(T-top)を呈することがなく、さらに定在波の残存やパターン倒れといったプロファイル劣化の少ないポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、並びに活性光線または放射線の照射によりスルフォン酸を発生する化合物として特定の構造を有する2種の化合物、例えば下記の構造式の化合物を含有するポジ型感光性組成物。1)この炭素数12のアルキル基は種々の分岐構造を有する残基である
Claim (excerpt)：
酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、並びに活性光線または放射線の照射によりスルフォン酸を発生する化合物として下記一般式[I]或いは[I’]で表される化合物および下記一般式[II]で表される化合物、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 :同じでも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、-S-R12基(R12はアルキル基またはアリール基を表す)、R6 〜R8 :同じでも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、-COOR13基(R13はアルキル基、アルケニル基を表す)、-OCOR14基(R14はアルキル基、アルケニル基を表す)、ただし、R6 〜R8 のうち必ず一つはアルキル基、シクロアルキル基、-COOR13基、-OCOR14基、アルケニル基であり、さらにR6 〜R8 のうち2つが水素原子である時、残り1つは炭素数6個以上のアルキル基、炭素数5個以上のシクロアルキル基、炭素数6個以上のアルケニル基、R13が炭素数5個以上のアルキル基、アルケニル基である-COOR13基、R14が炭素数5個以上のアルキル基、アルケニル基である-OCOR14基を表す。【化2】式中、C1 (炭素原子)とC2 (炭素原子)間は単結合あるいは二重結合で結合され、R9 又はR10は、同じでも異なってもよく、下記(1)〜(4)のいずれかを表し、(1)それぞれ独立に水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基(2)C1 、C2 とともに1つあるいは複数のヘテロ原子を含んでよい単環または多環を形成する。(3)C1 とC2 を含む縮合した芳香環を形成する、(4)N-スルフォニルオキシイミドを含む残基、R11はアルキル基、ハロゲン化アルキル基、環状アルキル基、アルケニル基、置換基を有してよいアリール基、置換基を有してよいアラルキル基、又は樟脳基を表す。
IPC (5)：
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (18)
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