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J-GLOBAL ID:200903068639239801
高周波プラズマ装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
平山 一幸
, 海津 保三
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004107167
Publication number (International publication number):2004363090
Application date: Mar. 31, 2004
Publication date: Dec. 24, 2004
Summary:
【課題】 プラズマの大型化や径方向のプラズマ密度分布を制御できる高周波プラズマ装置を提供する。【解決手段】 高周波プラズマ10となるガスが導入される反応室1と、該反応室1の外部に設けられ磁場を印加する磁石3と、反応室1の端部に設けられるプラズマ発生用アンテナ4と、アンテナ4へ高周波電力を印加する高周波発振器5と、から成る高周波プラズマ装置であって、磁石3により反応室1に形成される磁場3が一様磁場、発散磁場、収束磁場、カスプ磁場のいずれかまたはまたは該磁場のいずれか二種以上の組み合わせから成る。大きな容積でプラズマ密度が高く、径方向のプラズマ密度分布がよく、かつ、制御可能な高周波プラズマ装置を実現できる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
高周波プラズマとなるガスが導入される反応室と、該反応室の外部に設けられ磁場を印加する磁石と、上記反応室の端部に設けられるプラズマ発生用アンテナと、該アンテナへ高周波電力を印加する高周波発振器と、から成る高周波プラズマ装置であって、
上記磁石により上記反応室内に形成される磁場が、一様磁場、発散磁場、収束磁場、カスプ磁場のいずれかまたは該磁場のいずれか二種以上の組み合わせから成ることを特徴とする、高周波プラズマ装置。
IPC (4):
H05H1/46
, C23C16/50
, H01J37/32
, H01L21/3065
FI (5):
H05H1/46 L
, H05H1/46 R
, C23C16/50
, H01J37/32
, H01L21/302 101C
F-Term (11):
4K030FA04
, 4K030JA18
, 4K030KA15
, 4K030KA30
, 4K030KA34
, 5C030DD01
, 5C030DE07
, 5C030DE08
, 5F004BA14
, 5F004BB07
, 5F004CA03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
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プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-114754
Applicant:株式会社プラズマシステム
Cited by examiner (16)
-
プラズマ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-013981
Applicant:東京エレクトロン株式会社
-
特公平8-014026
-
プラズマ処理装置及び金属配線のエッチング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-101309
Applicant:日本電気株式会社
-
プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-297707
Applicant:東京エレクトロン株式会社
-
電磁RF結合を用いたプラズマ反応装置及びその方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-340841
Applicant:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
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プラズマ処理用高周波誘導プラズマ源装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-210340
Applicant:テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
-
プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-240663
Applicant:東京エレクトロン株式会社
-
特公平8-014026
-
プラズマ処理システムおよびその方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2001-537771
Applicant:ラムリサーチコーポレーション
-
プラズマエツチング装置における電源マツチング回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-314385
Applicant:日本サイエンテイフイツク株式会社
-
プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-067792
Applicant:堀池靖浩, 株式会社神戸製鋼所
-
プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-240398
Applicant:株式会社ダイヘン
-
半導体の製造のための高エネルギー電子を生成するためのヘリコン波励振
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-287435
Applicant:アメリカ合衆国
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プラズマ生成装置およびプラズマ生成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-238843
Applicant:株式会社東芝
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特公平8-014026
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ECRプラズマエツチング装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-203954
Applicant:キヤノン販売株式会社, アルキヤンテツク株式会社, 日本高周波株式会社
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