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J-GLOBAL ID:200903073194608511

窒化ガリウム系化合物半導体素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 深見 久郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000156223
Publication number (International publication number):2001339101
Application date: May. 26, 2000
Publication date: Dec. 07, 2001
Summary:
【要約】【課題】 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子において、発光強度と光取出し効率の改善、および低い動作電圧の実現を可能ならしめる。【解決手段】 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、基板101上において順に積層されたAl<SB>x</SB>Ga<SB>y</SB>In<SB>1-x-y</SB>N(0≦x<1;0<y≦1;0<x+y≦1)活性層104、p型半導体層105,106、および金属Pd薄膜電極層107を少なくとも含み、その活性層104とPd薄膜107との間隔が10nm以上で400nm以下であることを特徴としている。
Claim (excerpt):
基板上において順に積層されたAl<SB>x</SB>Ga<SB>y</SB>In<SB>1-x-y</SB>N(0≦x<1;0<y≦1;0<x+y≦1)活性層、p型半導体層、および金属Pd薄膜を少なくとも含み、前記活性層と前記Pd薄膜との間隔が10nm以上で400nm以下であることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体素子。
IPC (2):
H01L 33/00 ,  H01S 5/323
FI (3):
H01L 33/00 C ,  H01L 33/00 E ,  H01S 5/323
F-Term (19):
5F041AA24 ,  5F041CA33 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA46 ,  5F041CA57 ,  5F041CA64 ,  5F041CA65 ,  5F041CA73 ,  5F041CA83 ,  5F041CA88 ,  5F073AA55 ,  5F073CA17 ,  5F073CB05 ,  5F073CB07 ,  5F073CB10 ,  5F073CB22 ,  5F073DA05 ,  5F073EA29
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (16)
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