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J-GLOBAL ID:200903073194608511
窒化ガリウム系化合物半導体素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
深見 久郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000156223
Publication number (International publication number):2001339101
Application date: May. 26, 2000
Publication date: Dec. 07, 2001
Summary:
【要約】【課題】 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子において、発光強度と光取出し効率の改善、および低い動作電圧の実現を可能ならしめる。【解決手段】 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、基板101上において順に積層されたAl<SB>x</SB>Ga<SB>y</SB>In<SB>1-x-y</SB>N(0≦x<1;0<y≦1;0<x+y≦1)活性層104、p型半導体層105,106、および金属Pd薄膜電極層107を少なくとも含み、その活性層104とPd薄膜107との間隔が10nm以上で400nm以下であることを特徴としている。
Claim (excerpt):
基板上において順に積層されたAl<SB>x</SB>Ga<SB>y</SB>In<SB>1-x-y</SB>N(0≦x<1;0<y≦1;0<x+y≦1)活性層、p型半導体層、および金属Pd薄膜を少なくとも含み、前記活性層と前記Pd薄膜との間隔が10nm以上で400nm以下であることを特徴とする窒化ガリウム系化合物半導体素子。
IPC (2):
FI (3):
H01L 33/00 C
, H01L 33/00 E
, H01S 5/323
F-Term (19):
5F041AA24
, 5F041CA33
, 5F041CA34
, 5F041CA40
, 5F041CA46
, 5F041CA57
, 5F041CA64
, 5F041CA65
, 5F041CA73
, 5F041CA83
, 5F041CA88
, 5F073AA55
, 5F073CA17
, 5F073CB05
, 5F073CB07
, 5F073CB10
, 5F073CB22
, 5F073DA05
, 5F073EA29
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (16)
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窒化ガリウム系化合物半導体及び素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-019748
Applicant:豊田合成株式会社, 株式会社豊田中央研究所
-
GaN系化合物半導体発光素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-334956
Applicant:豊田合成株式会社, 株式会社豊田中央研究所
-
3族窒化物半導体の電極及びその電極を有した素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-178555
Applicant:豊田合成株式会社
-
窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-330944
Applicant:豊田合成株式会社
-
窒化物半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-281170
Applicant:日亜化学工業株式会社
-
窒化物半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-279967
Applicant:日亜化学工業株式会社
-
周縁に電極を有する発光ダイオード
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-331659
Applicant:日亜化学工業株式会社
-
半導体素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-229082
Applicant:株式会社東芝
-
窒化ガリウム系化合物半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-358988
Applicant:豊田合成株式会社, 赤崎勇, 天野浩
-
窒化物半導体レ-ザ素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-361742
Applicant:日亜化学工業株式会社
-
p型III-V族窒化物半導体およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-163120
Applicant:松下電子工業株式会社
-
電極構造およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-167124
Applicant:シャープ株式会社
-
GaN系化合物半導体装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-108673
Applicant:シャープ株式会社
-
窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-128452
Applicant:シャープ株式会社
-
半導体素子の製造方法及び半導体素子、並びに発光素子の製造方法及び発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-343524
Applicant:シャープ株式会社
-
p型窒化物半導体の電極および前記電極を有する半導体素子およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-053477
Applicant:三洋電機株式会社
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