特許
J-GLOBAL ID：200903027541219723

ネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

発明者：
峯岸 知典

峯岸 知典 について


出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-079605
公開番号（公開出願番号）：特開2007-256525
出願日： 2006年03月22日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】280°C以下の低温下の加熱処理でも十分な耐熱性と機械特性を与えるネガ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品を提供する。【解決手段】第1導体層3、第2導体層7及び層間絶縁膜4が形成された半導体基板1に、ネガ型感光性樹脂組成物をスピンコートして乾燥し、所定部分に窓6Cを形成するパターンのマスク上から光を照射する。アルカリ水溶液にて現像後、加熱(硬化)して、表面保護膜層8を形成する。前記ネガ型感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液可溶性のポリマーと、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)酸の作用により前記(a)成分の少なくとも末端基と架橋あるいは重合し得る化合物とを含有する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ水溶液可溶性のポリマーと、(b)活性光線照射により酸を発生する化合物と、及び(c)酸の作用により前記(a)成分の少なくとも末端基と架橋あるいは重合し得る化合物とを含有してなることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/038 601 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (19件)：
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB23 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08
引用特許：
出願人引用 (38件)
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審査官引用 (2件)

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