特許
J-GLOBAL ID：200903093370996508

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

発明者：
藤田 陽二

藤田 陽二 について

, 
富川 真佐夫

富川 真佐夫 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-030558
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212602
出願日： 2006年02月08日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】高信頼性が要求される半導体装置でも十分使用できる高い伸度を有するポジ型感光性樹脂前駆体組成物を提供すること。【解決手段】(a)加熱等により、イミド環、オキサゾール環その他の環状構造を形成しうるポリマーの両末端構造がXであるもの、(b)同じく両末端構造がYであるもの、(XおよびYは加熱により-X-Y-結合を形成しうる有機基)(c)キノンジアジド化合物、(d)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)および/または(2)で表される構造を主成分とするポリマー、(b)一般式(3)および/または(4)で表される構造を主成分とするポリマー、(c)キノンジアジド化合物、(d)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027 ,  C08G 69/26
FI (5件)：
G03F7/023 ,  G03F7/075 501 ,  G03F7/085 ,  H01L21/30 502R ,  C08G69/26
Fターム (35件)：
2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC03 ,  2H025CC06 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J001DA01 ,  4J001DB01 ,  4J001DB04 ,  4J001DC14 ,  4J001DD03 ,  4J001DD07 ,  4J001DD13 ,  4J001DD18 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB57 ,  4J001EB69 ,  4J001EC38 ,  4J001EC67 ,  4J001EC69 ,  4J001EC74 ,  4J001EC75 ,  4J001FB03 ,  4J001FB06 ,  4J001FC03 ,  4J001FC06 ,  4J001FC07 ,  4J001JA20 ,  4J001JB34
引用特許：
出願人引用 (25件)
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