特許
J-GLOBAL ID：201203026554391850
TEM薄片、その製造プロセス、及び当該プロセスを実行する装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 下地 健一
, 坪内 伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-167687
公開番号（公開出願番号）：特開2012-042461
出願日： 2011年07月29日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：
【課題】透過型電子顕微鏡法(TEM)研究に適した材料試料(TEM「薄片」)、特にHRTEM薄片(HR=高分解能)、その製造プロセス、及び当該プロセスを実行する装置。【解決手段】TEM薄片を製造するプロセスは、厚さを有する板状基板を支持体に取り付けるステップ(S1)と、第1ストリップ状凹部を基板の第1面に、支持体に対して第1角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ(S3)と、第2ストリップ状凹部を基板の第2面に、支持体に対して第2角度で、粒子ビームを用いて製造するステップ(S5)であって、第1ストリップ状凹部第2ストリップ状凹部が、薄肉の重なり領域を形成するようにする。薄片は、厚肉のリム領域及び薄肉の中央領域を有し、第1ストリップ状凹部を薄片の第1の平坦面に、第2ストリップ状凹部を薄片の第2平坦面に有し、第1凹部及び第2凹部は、相互に鋭角又は直角を形成する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
透過型電子顕微鏡試験用の試料を製造するプロセスであって、
中心面及び該中心面に対して垂直に測定した厚さを有する基板を、取り付け方向に対して垂直な取り付け面を有する支持体に取り付けるステップと、
第1長手方向を有する第1ストリップ状凹部を、前記基板の第1面に、前記第1ストリップ状凹部の前記長手方向と前記支持体の前記取り付け方向との間を第1角度にして、粒子ビームを用いて製造するステップと、
第2長手方向を有する第2ストリップ状凹部を、前記基板の第2面に、前記第2ストリップ状凹部の前記第2長手方向と前記支持体の前記取り付け方向との間を第2角度にして、粒子ビームを用いて製造するステップであって、前記第1ストリップ状凹部の前記第1長手方向及び前記第2ストリップ状凹部の前記第2長手方向が相互に鋭角又は直角を形成し、前記第1凹部及び前記第2凹部が両者間の前記基板の厚さよりも薄肉の重なり領域を形成するようにする、ステップと、
を含む、透過型電子顕微鏡試験用の試料を製造するプロセス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N23/225
, H01J37/20 D
, H01J37/20 A
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001DA02
, 2G001GA06
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 2G001PA12
, 2G001RA04
, 2G001RA20
, 2G001SA02
, 5C001AA05
, 5C001AA06
, 5C001CC04
, 5C001CC08
