特許
J-GLOBAL ID：200903016304596936
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133816
公開番号（公開出願番号）：特開2003-330192
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状、ドライエッチング耐性、露光後の加熱温度の変動に対する線幅安定性等のレジストとしての基本物性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(i-1-1) または式(i-1-2) で表される化合物に由来する繰り返し単位を有する樹脂に代表される酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする。【化1】(各式中、Rは水素原子またはメチル基を示す。)
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(I)において、R1 は水素原子、メチル基、炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のヒドロキシアルキル基または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のフッ素化アルキル基を示し、各R2 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、かつR2 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR2 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に、炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成し、残りのR2 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を示し、Uは炭素数5〜12の2価の有橋式炭化水素基を示す。〕
IPC (3件)：
G03F 7/039 601
, C08F 20/28
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F 20/28
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AA11
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 4J100AL08P
, 4J100BA15P
, 4J100BC03P
, 4J100BC04P
, 4J100BC08P
, 4J100BC12P
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100JA37
, 4J100JA38
