特許
J-GLOBAL ID：201103068760248786

新規な感光性樹脂組成物

発明者：
パメラ・ジェイ・ウォータースン

パメラ・ジェイ・ウォータースン について

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アーマド・ナイイニ

アーマド・ナイイニ について

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ウィリアム・ディー・ウェーバー

ウィリアム・ディー・ウェーバー について


出願人/特許権者：
フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド

フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド について


代理人 (5件)： 結田 純次 ,  三輪 昭次 ,  高木 千嘉 ,  西村 公佑 ,  杉本 博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-572721
特許番号：特許第4088910号
出願日： 1999年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a) シランジオール、 (b) 下記構造 (式中、Ar1は4価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、Ar2は2価の芳香族、複素環式、脂環式または脂肪族基であり、これらは場合により珪素を含んでいてもよい、Ar3は2価の芳香族基、脂肪族基、複素環式基またはそれらの混合物であり、 Zは下記の基のうちの1つであり、 xは10〜1000であり、yは0〜900であり、そしてbは0.10〜350である)を有する1つ以上のキャップされたポリベンゾオキサゾール前駆体、 (c) 感光剤および (d) 溶剤 を含有する、ポジ感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/075 ( 200 6.01) ,  C08K 5/00 ( 200 6.01) ,  C08K 5/3432 ( 200 6.01) ,  C08K 5/41 ( 200 6.01) ,  C08K 5/5415 ( 200 6.01) ,  C08L 79/04 ( 200 6.01) ,  G03F 7/022 ( 200 6.01) ,  G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (9件)：
G03F 7/075 501 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/343 ,  C08K 5/41 ,  C08K 5/541 ,  C08L 79/04 B ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/023 501 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
出願人引用 (31件)
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審査官引用 (31件)
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