特許
J-GLOBAL ID：200903090072179956
インプリント方法およびナノ・インプリント装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-134795
公開番号（公開出願番号）：特開2007-305895
出願日： 2006年05月15日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】半導体ウエハやガラス基材等のワークに正確にインプリントを施すことができるインプリント方法およびナノ・インプリント装置を提供する。【解決手段】ワークをセットする平面領域内に、気体の圧送・吸引機構に接続された通気孔が設けられたセットテーブルにワークを支持し、前記ワーク上にUV硬化樹脂を供給し、前記セットテーブルを前記ナノ・インプリント型の型面と前記ワークの表面とが離間する上位置まで上昇させて停止させた後、通気孔から前記ワークの下面に向けて送気し、ワークの中央部から周辺部に向け、ナノ・インプリント型とワークとの間に前記UV硬化樹脂を徐々に充填しながら前記ワークを前記ナノ・インプリント型に押接し、前記気体の送入圧力により前記ワークを前記ナノ・インプリント型に押接した状態で前記UV硬化樹脂にUV光を照射することにより前記UV硬化樹脂を光硬化させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ワークをセットする平面領域内に、気体の圧送・吸引機構に接続された通気孔が設けられたセットテーブルにワークを支持し、
前記ワーク上にUV硬化樹脂を供給し、前記セットテーブルを前記ナノ・インプリント型の型面と前記ワークの表面とが離間する上位置まで上昇させて停止させた後、
前記気体の圧送・吸引機構により、前記セットテーブルに設けられた通気孔から前記ワークの下面に向けて送気し、ワークの中央部から周辺部に向け、ナノ・インプリント型とワークとの間に前記UV硬化樹脂を徐々に充填しながら前記ワークを前記ナノ・インプリント型に押圧し、
前記気体の送入圧力により前記ワークを前記ナノ・インプリント型に押圧した状態で前記UV硬化樹脂にUV光を照射することにより前記UV硬化樹脂を光硬化させることを特徴とするインプリント方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B29C 39/02
, B29C 59/02
H01L21/30 502D
, B29C39/02
, B29C59/02 Z
4F204AA44
, 4F204AC05
, 4F204AG05
, 4F204AG21
, 4F204AG29
, 4F204AH33
, 4F204AJ08
, 4F204EA03
, 4F204EB01
, 4F204EK09
, 4F204EK10
, 4F204EK18
, 4F204EK24
, 4F204EK26
, 4F209AA44
, 4F209AC05
, 4F209AG05
, 4F209AG21
, 4F209AG29
, 4F209AH33
, 4F209AJ08
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PN13
, 5F046BA10
出願人引用 (20件)
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審査官引用 (20件)
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