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J-GLOBAL ID:200903027398262914
基板の上に配置された膜の特性を測定する方法およびシステム
Inventor:
,
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
山川 政樹
, 山川 茂樹
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2006554141
Publication number (International publication number):2007523492
Application date: Feb. 14, 2005
Publication date: Aug. 16, 2007
Summary:
本発明は、基板の上に配置された膜の特性を測定する方法およびシステムを提供することを対象とする。該方法は、膜の上において複数の処理領域を識別することと、複数の処理領域のサブセットの特性を測定することと、測定された特性を確定することと、測定された特性の1つの変化を決定することと、測定された特性の1つと、サブセットの残りの処理領域に関連付けられる測定された特性との比較に基づいて、変化の原因を関連付けることとを含む。該システムは、上述された方法を実施する。
Claim (excerpt):
基板の上に配置された膜の特性を測定する方法であって、
前記膜の上で複数の処理領域を識別することと、
前記複数の処理領域のサブセットの特性を測定し、測定された特性を確定することと、
前記測定された特性の1つの変化を決定することと、
前記測定された特性の前記1つと、前記サブセットの残りの処理領域に関連付けられる測定された特性との比較に基づいて、前記変化の原因を関連付けることと
を備えることを特徴とする方法。
IPC (4):
H01L 21/027
, G01B 11/30
, G01B 11/00
, G01B 11/02
FI (5):
H01L21/30 502D
, H01L21/30 502V
, G01B11/30 A
, G01B11/00 H
, G01B11/02 H
F-Term (29):
2F065AA03
, 2F065AA21
, 2F065AA30
, 2F065AA49
, 2F065AA56
, 2F065BB02
, 2F065CC17
, 2F065DD08
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG23
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065LL04
, 2F065LL22
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ42
, 2F065RR07
, 2F065SS03
, 2F065SS13
, 2F065UU05
, 5F046AA18
, 5F046BA10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (19)
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特開平2-015612
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