感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和気操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-316385
公開番号（公開出願番号）：特開2005-084365
出願日： 2003年09月09日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】ラフネス、エッチング耐性、感度、解像度に優れ、微細パターンを高精度にかつ安定して形成できる。【解決手段】式(1)および/または式(2)で表されるオニウム塩構造単位を繰り返し単位として有する重合体を含む。【化1】R1は水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、または、ハロアルキル基を表し、R2およびR3は相互に独立に、置換もしくは非置換された炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、アルコキシ基、ハロアルキル基、または、炭素数6〜20のアリール基を表し、A1は単結合、エーテル結合、エステル結合、または、アミド結合を表し、X-は陰イオンを表す。【選択図】無

請求項（抜粋）：

式(1)で表されるスルホニウム塩構造単位および式(2)で表されるヨードニウム塩構造単位から選ばれた少なくとも一つのオニウム塩構造単位を繰り返し単位として有する重合体を含む感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/004 , C08F12/30 , C08F20/00 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/004 503A , C08F12/30 , C08F20/00 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (24件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AL08P , 4J100BA03Q , 4J100BA56P , 4J100BC43P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (19件)

ポジ型感放射線性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-235290 出願人：東レ株式会社
電子線またはX線用化学増幅系ネガ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-049639 出願人：富士写真フイルム株式会社
ネガ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-280035 出願人：富士写真フイルム株式会社

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審査官引用 (7件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-024011 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開平4-230645
新規なスルホキソニウム塩
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-119692 出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト

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