特許
J-GLOBAL ID：200903084082553309
ポジ型紫外感光性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパタ-ン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187328
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187325
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：
【要約】【課題】 工業的に入手可能な4-(1-メチルエテニル)フェノールを構造単位に有し、レジスト材料に有用なポジ型紫外感光性樹脂組成物を提供することである。【解決手段】 感光用樹脂、エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物及び光酸発生剤を含有してなるポジ型紫外感光性樹脂組成物において、感光用樹脂として、4-(1-メチルエテニル)フェノール(a)、アクリル酸エステル類(b)及びアクリル酸類(c)からなる共重合体を用いてなるポジ型紫外感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
感光用樹脂、エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物及び光酸発生剤を含有してなるポジ型紫外感光性樹脂組成物において、感光用樹脂として、化学式(1)〔化1〕、【化1】化学式(2)〔化2〕【化2】(式中、R1は水素またはメチル基、R2は炭素数1ないし6の直鎖もしくは分岐の無置換アルキル基または炭素数1ないし6の直鎖もしくは分岐の置換アルキル基)及び化学式(3)〔化3〕【化3】(式中、R1 は水素またはメチル基)で示される構成単位を有する共重合体であって、a=0.05ないし0.7、b=0.15ないし0.8及びc=0.01ないし0.5であり、かつa+b+c=1であることを特徴とするポジ型紫外感光性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/039
, C08F 2/50
, C08F212/14
, C08F220/06
, C08F220/10
, C08L 25/18
, C08L 33/00
, G03F 7/027 502
G03F 7/039
, C08F 2/50
, C08F212/14
, C08F220/06
, C08F220/10
, C08L 25/18
, C08L 33/00
, G03F 7/027 502
出願人引用 (29件)
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審査官引用 (29件)
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