特許
J-GLOBAL ID：200903034590796104
実効的近接効果補正方法論
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 田中 英夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-509953
公開番号（公開出願番号）：特表2006-523865
出願日： 2004年04月13日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
本出願は、目標レイアウト(504)の選択された評価点同士(505及び506)間での補正(501及び502)の内挿(503)に基づく方法論を記載する。補正点同士を接続することにより、この技術は、データ・ボリュームを低減し、且つマスク書き込み、検査及び修理プロセスを単純化する手段を提供する。同じ方法論は、非プリンティング・フィーチャを有するレイアウトに適用されることができ、そこにおいて、補正は、主フィーチャのイメージの品質に基づく。ベクトル走査マスク書き込みツールに対して、補正を内挿するセグメントは、角度に対して適切なセグメントに分解されることができる。
請求項（抜粋）：
集積回路のレイアウトに近接効果補正を実行して、補正されたレイアウト・ファイルを生成する方法であって、
前記集積回路の一部分のコンピュータ可読レイアウトを受け取るステップと、
データ・プロセッサを用いて、前記レイアウトの第1の評価点及び第2の評価点を識別するステップと、
データ・プロセッサを用いて、第1の評価点の近接効果補正を実行して補正された第1の点を形成し、且つ第2の評価点の近接効果補正を実行して補正された第2の点を形成するステップと、
前記補正された第1の点を前記補正された第2の点と接続する相互接続曲線を計算するステップと
を備える方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H095BA02
, 2H095BA07
, 2H095BA10
, 2H095BB02
, 2H095BC09
