走査型プローブ顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-307771
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114186
特許番号：特許第3989704号
出願日： 2001年10月03日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段と試料を移動させる試料移動手段とカンチレバーを一定周期で所望の振幅量で振動させるレバ-加振手段とカンチレバーと試料で構成される空間に外部より磁場を印加する手段からなり、試料の磁気特性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーの先端の探針のみに磁性コ-トし、それ以外の部分は磁性コートされていないカンチレバーを使用して試料の磁気特性を測定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：