特許
J-GLOBAL ID：200903044721322699
2次元光走査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-310402
公開番号（公開出願番号）：特開2008-129069
出願日： 2006年11月16日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】低電圧で大きい加振力を得ることができるとともに、精度よく角度変位を検出することができる2次元光走査装置を提供【解決手段】2次元光走査装置100は、鏡面部が表面に形成された第3フレーム104と、第3フレーム104に対し所定の隙間を介して設けられた第2フレーム103と、第2フレーム103に対し所定の隙間を介して設けられた第1フレーム102と、第1フレーム102に対し所定の隙間を介して設けられた第0フレーム101とを備え、3自由度連成振動系を構成する。更に、第1フレーム102の左側端縁102c及び右側端縁102dには、櫛歯状に形成された櫛歯部が設けられるとともに、第0フレーム101には、この櫛歯部と一定間隔を空けて噛み合うように構成された櫛歯部が設けられている。そして、第1フレーム102の捩じり振動の振幅が、第1フレーム102の板厚に略等しくなるように構成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光を反射させる反射面を有する板状の第3剛体部材と、
前記第3剛体部材に対して所定の隙間を介して設けられた板状の第2剛体部材と、
前記第2剛体部材に対して所定の隙間を介して設けられた板状の第1剛体部材と、
前記第1剛体部材に対して所定の隙間を介して設けられた板状の第0剛体部材と、
前記第3剛体部材と前記第2剛体部材とを連結させるとともに、回転トルクが作用するときに捩じれ、この捩じれの回転角に応じた大きさで前記捩じれの方向とは逆の方向に回転トルクが発生する弾性体から構成され、前記第3剛体部材の重心を通る第3中心軸を回転軸として、前記第3剛体部材を捩じり振動させる第3弾性変形部材と、
前記第2剛体部材と前記第1剛体部材とを連結させるとともに、回転トルクが作用するときに捩じれ、この捩じれの回転角に応じた大きさで前記捩じれの方向とは逆の方向に回転トルクが発生する弾性体から構成され、前記第3剛体部材と前記第2剛体部材との重心を通る第2中心軸を回転軸として、前記第2剛体部材を捩じり振動させる第2弾性変形部材と、
前記第1剛体部材と前記第0剛体部材とを連結させるとともに、回転トルクが作用するときに捩じれ、この捩じれの回転角に応じた大きさで前記捩じれの方向とは逆の方向に回転トルクが発生する弾性体から構成され、前記第3剛体部材と前記第2剛体部材と前記第1剛体部材との重心を通る第1中心軸を回転軸として、前記第1剛体部材を捩じり振動させる第1弾性変形部材と
を備えて、前記第3剛体部材、前記第2剛体部材、前記第1剛体部材、前記第3弾性変形部材、前記第2弾性変形部材及び前記第1弾性変形部材が、固有の周期的外力が作用した場合に大きい回転角で捩じり振動する3自由度連成振動系を構成し、
更に、前記第0剛体部材に設けられ、櫛歯状に形成された第0櫛歯状電極部と、前記第1剛体部材に設けられ、前記第0櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成された第1櫛歯状電極部とを有し、前記第0櫛歯状電極部に周期的な電気信号を入力することにより、前記3自由度連成振動系に前記固有の周期的外力を作用させる第1外力作用手段と、
前記第0剛体部材に設けられ、櫛歯状に形成された第2櫛歯状電極部と、前記第1剛体部材に設けられ、前記第2櫛歯状電極部と噛み合い可能な櫛歯状に形成された第3櫛歯状電極部とを有し、前記第2櫛歯状電極部と前記第3櫛歯状電極部との間の静電容量の変化に基づいて、前記第1剛体部材の捩じり振動の振幅の角度を検出する第1角度検出手段とを備え、
前記第3剛体部材及び前記第2剛体部材の捩じり振動の振幅の角度が、前記第1剛体部材の捩じり振動の振幅の角度に対して十分大きく、
前記第1剛体部材の捩じり振動の振幅が、前記第1剛体部材の板厚に略等しくなるように構成される
ことを特徴とする2次元光走査装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
, G02B26/10 F
, H04N1/04 104Z
2H045AB06
, 2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045AB44
, 2H045AB73
, 2H045BA12
, 2H045CB65
, 2H045DA11
, 5C072AA03
, 5C072BA04
, 5C072BA20
, 5C072HA02
, 5C072HA14
, 5C072HB06
, 5C072HB15
, 5C072XA10
出願人引用 (3件)
審査官引用 (31件)
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光スキャナ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-260408
出願人：株式会社デンソー
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光偏向子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-168206
出願人：富士電機株式会社
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静電アクチュエータ及び光走査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-259998
出願人：株式会社リコー
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